판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293762280
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NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676은 반도체 산업을 위해 설계된 매우 정교한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 6 축 기계는 실리콘, 게르마늄, 갈륨 비소 및 기타 화합물을 포함한 광범위한 물질의 다이아몬드 및 CMP 연삭, 랩핑 및 연마를 통해 2 차원 및 3 차원 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있습니다. IPEC 676 시스템은 멀티 레이어 박막, 쿼츠 및 사파이어 웨이퍼에서 0.0005 인치 이상의 정확도에 도달 할 수 있습니다. 이 장치에는 견고한 스핀들 드라이브 (spindle drive), 로봇 공학, 자동화 및 소형 및 대형 웨이퍼의 자동 처리가 장착되어 있습니다. 자가 진단 시스템 (Self Diagnostics Machine) 을 사용하여 작업 중 불규칙성을 감지하고 프로세스 매개변수를 자동으로 조정하여 성능 및 효율을 최적화할 수 있습니다. WESTECH 676 도구는 통합 컴퓨터 및 네트워킹 시스템으로 설계되어 웨이퍼 그라인더 (Wafer Grinder) 및 기타 자산 부품을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 로컬 네트워크 컨트롤은 모델 기능에 대한 전체 자동화 및 원격 모니터링을 허용합니다. 또한, 웨이퍼 그라인더 (Wafer Grinder) 는 프로세스 제어를 개선하기 위해 데이터 획득 장비를 내장하여 각 프로세스 단계 및 중요 데이터 포인트에 대한 운영자의 실시간 피드백을 제공합니다. 안전 면에서 676 시스템에는 안전 매트 (Safety Mats), 커버 (Cover), 에어 도어 (Air Door) 및 기타 안전 장치와 같은 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 그라인더에는 잠재적 인 잔해와 냉각제 또는 윤활제를 함유 할 수있는 fail-safe 용기가 장착되어 있습니다. 내장 온도, 압력, 스트레스 센서를 통해 장치를 자체 모니터링, 감지, 보호할 수 있습니다. 이를 통해 환경이나 직원에게 잠재적 인 운영자 오류와 잠재적 위험 (potential hazard) 을 없앨 수 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM 676은 반도체 산업을 위해 설계된 고급의 다중 축 기계입니다. 뛰어난 정확도, 제어 및 안전 기능을 제공하여 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 어플리케이션을위한 탁월한 선택입니다.
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