판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293761797

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676은 복잡한 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능, 종합 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 반도체, 항공 우주, 자동차, 의료 등 광범위한 산업에 대해 저차원 (low dimensional) 및 비 균질 웨이퍼 (non-homogeneous wafer) 를 포함한 다양한 웨이퍼를 연마, 랩핑 및 연마하는 데 적합합니다. 이 장치에는 고급 프로세스 제어, 자동 CIP 업데이트, 자동 프로세스 관리 시스템 및 시스템 내 레시피 유지 보수가 장착되어 있습니다. 이 툴은 고급 프로세스 제어 (Process Control) 소프트웨어를 활용하여 높은 정확도와 설치 시간 (Setup Time) 을 통한 제품 생산에서 정확한 정확성을 달성할 수 있습니다. 또한, 자산은 원하는 결과를 달성하는 데 필요한 프로세스 도구 이동, 측정, 기타 매개 변수에 대한 통합 모니터링 및 제어를 제공합니다. 이 모델은 웨이퍼 척, 웨이퍼 운송 장비, 랩핑 및 연마 핀, 사전 정렬 장치, 진공 시스템 및 2 개의 큰 CNC 제어 서보 모터를 포함한 여러 구성 요소를 통합합니다. 이 장치는 시간당 최대 60 개의 웨이퍼를 처리할 수 있도록 설계되었으며, 유연한 레시피 관리 및 프로그래밍을 제공하며, RA 및 RZ 측정을 포함한 다양한 연삭 및 연마 작업을 수행 할 수 있습니다. 또한, 기계에는 웨이퍼 청소 및 준비를위한 6 인치 챔버가 장착되어 있습니다. IPEC 676 은 인력과 인력의 안전을 보장하기 위해 MAS (Monitoring and Access Asset) 와 여러 센서를 장착하여 모델 매개변수, 프로세스 매개변수, 운영자 액세스 정보를 모니터링합니다. 또한 MAS 는 데이터 로깅을 비롯한 원격 프로세스 모니터링을 통해 프로세스를 추적할 수 있습니다. 이 장비는 기존 프로세스 장비 (process equipment) 와 쉽게 통합되며, 다양한 웨이퍼와 프로세스를 수용할 수 있는 매우 조절 가능한 플랫폼을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 시스템 업그레이드가 가능하고, 교체할 경우 운영 요구 사항이나 프로세스 요구 사항이 변경되어야 합니다. 또한, 이 장치는 고급 진단 및 유지 관리 (Advanced Diagnostics and Maintenance) 기능을 제공하여 사용자가 모든 시스템 문제를 감지하고 필요한 수리를 수행할 수 있도록 합니다. 프로세스 매개 변수를 최적화하여 WESTECH 676 은 다운타임 최소화, 유지 보수 시간 단축을 통해 높은 정밀도 처리, 안정적인 성능을 제공합니다.