판매용 중고 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9226639

NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9226639
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1998
Tungsten CMP system, 6" 1998 vintage.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 4 축 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 최첨단 웨이퍼 처리 기계입니다. 다양한 웨이퍼 크기 (직경 300mm) 를 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 직접 구동 로봇 가공소재 처리 장치뿐만 아니라, 정밀도, 고속, 즉석 랩핑 및 연마 헤드가 있습니다. 이러한 기능의 조합은 사용자에게 뛰어난 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. IPEC 472는 직관적 인 GUI (Graphical User Interface) 에 의해 구동되므로 운영자가 쉽게 컴퓨터를 사용자 정의하고 제어 할 수 있습니다. WESTECH 472에는 긴급 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 문에 여러 개의 인터 록을 포함한 여러 개의 온보드 안전 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 연삭 챔버를위한 진공 축적기 (vacuum accumulator) 가 특징이며 먼지가없는 작동이 가능합니다. SPEEDFAM 472는 강력한 CNC 컨트롤러에 의해 구동되며, 이는 정확한 회전 속도와 동작 제어를 제공합니다. 이 도구는 멀티 존 (multi-zone) 온도 제어 자산을 통합하여 전체 웨이퍼에 균일 한 열 조건을 보장합니다. 이것은 전체 랩핑 및 연마 과정에서 최대 정확도를 보장합니다. NOVELLUS 472 (NOVELLUS 472) 에는 자동 미디어 보충 모델이 장착되어 있어, 사용자가 미디어 등급 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. 472의 고급 속도 (Advanced Speed) 와 정밀도 (Precision) 는 웨이퍼 그라인딩 및 랩핑 어플리케이션과 가장 까다로운 어플리케이션을위한 초소형 다듬기 어플리케이션을 모두 지원합니다. NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 최대 유연성과 정확도를 위해 4축 컨트롤을 통합했습니다. 웨이퍼 방향 (Wafer Orientation) 과 재료 유형의 조합을 위해 최대 12,000 RPM의 정교한 듀얼 헤드 랩핑 및 연마 스핀들 (Spindle) 로 구동됩니다. 통합 그라인딩 챔버 및 다중 랩핑 헤드는 매번 균일하고 일관된 결과를 제공합니다. 결론적으로, IPEC 472는 강력하고 고급 웨이퍼 처리 장비로, 사용자에게 매번 우수한 랩핑 및 연마 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 직관적인 디자인과 손쉬운 맞춤형 구성이 결합된 고속 (high-speed) 과 정밀도 (precision) 는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 어플리케이션을위한 최고의 솔루션입니다.
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