판매용 중고 NOVELLUS / IPEC 776 #293741214
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NOVELLUS/IPEC 776은 높은 생산량 및 정밀 응용을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 50 년 이상 반도체 장비의 주요 이름 인 IPEC Systems에서 개발했습니다. IPEC 776 (IPEC 776) 은 다양한 각도로 웨이퍼 연삭, 요청 된 평탄함을 달성하기 위해 웨이퍼 랩핑, 요청 된 사양에 웨이퍼 연마 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. NOVELLUS 776에는 대용량 (high-volume) 및 정밀 (precision) 요구 사항에 적합한 다양한 기능이 있습니다. 이 기계는 연삭, 랩 핑, 연마에 적합한 최대 25 개의 공정 레시피를 저장하고 리콜하도록 설계되었습니다. 또한 긴급 정지 (Emergency Stop), E-Stop 안전 장치, 도어 안전 연결 장치 등 다양한 안전 기능을 갖춘 견고한 디자인이 있습니다. 776 은 또한 50 개 슬롯 툴 선택 시스템을 갖추고 있으며, 필요에 따라 운영자가 wafer 의 활성 연마제를 신속하게 변경할 수 있습니다. 이 기계는 또한 최적의 웨이퍼 클램핑, 자동 웨이퍼 클리닝 기능을 위해 다양한 외부 척 (chuck) 을 사용합니다. NOVELLUS/IPEC 776에는 다양한 고급 프로세스 모니터링 및 제어 시스템도 포함되어 있습니다. 여기에는 포괄적인 데이터 획득 시스템이 포함되며, 이를 통해 운영자는 향후 분석을 위해 데이터를 저장할 수 있습니다. 또한 IPC (Intelligent Process Control) 시스템을 통해 프로세스를 모니터링하고 조정하여 가장 정확하고 재현 가능한 결과를 보장합니다. 또한 IRC (Intelligent RPM Control) 및 GPC (Grinding Process Control) 시스템이 포함되어 있어 연속 웨이퍼 패스 간의 일관성을 유지할 수 있습니다. IPEC 776 (IPEC 776) 은 매우 다양한 기계로, 운영자가 다양한 크기의 웨이퍼와 다양한 구성과 코팅을 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 유연한 생산이 가능하며, 높은 수준의 처리량과 정확성을 달성할 수 있습니다. 마지막으로, NOVELLUS 776은 자동 도량형 시스템 (automated metrology system) 과 같은 다양한 장비와 통합되어 완전한 무인 연삭, 랩핑 및 연마 솔루션을 만들 수 있습니다. 전체적으로 776은 대용량 및 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을위한 훌륭한 선택입니다.
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