판매용 중고 NOVELLUS Avanti 472 #9225556

NOVELLUS Avanti 472 장비는 반도체 재료의 생산 처리를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 고품질, 균일하게 연마 된 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 제공할 수 있도록 설계되었으며, 운영자의 개입이 거의 또는 전혀 없습니다. NOVELLUS AVANT I472는 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Avanti 472에는 웨이퍼 디스크, 슬러리, 다이아몬드 연마제, 세라믹 타일 및 스폰지 일 수있는 프로세스 미디어가 필요합니다. 전기 화학 기계 연마, 화학 기계 연마, 초소형 백그라인딩과 같은 다양한 유형의 랩핑 프로세스를 실행할 수 있습니다. 이 장치의 주요 구성 요소로는 연삭 및 연마 기계 (grinding and polishing machine), 연마 표면을 고정하기위한 플래튼, 프로세스 미디어 복구 및 재사용을위한 슬러리 재활용 머신 (slurry recycling machine) 이 있습니다. 기계의 연마 챔버 (polishing chamber) 는 압력, 지속 시간, 속도 등과 같은 여러 조정 가능한 매개변수로 설계되어 연산자가 연삭, 랩핑 및 연마 작업에 대한 정확한 요구 사항을 설정할 수 있습니다. 이 장치는 균일 한 랩핑 압력을 보장 할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 의 변형을 방지하는 데 도움이됩니다. AVANT I472 (AVANT I472) 에는 프로세스 매개변수를 모니터링하고 프로세스의 변경 사항을 경고하는 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 고급 웨이퍼 모니터링 툴 (Advanced Wafer Monitoring Tool) 을 사용하여 웨이퍼의 품질을 지속적으로 확인하고, 연마 과정의 진행 상황에 대한 실시간 데이터를 제공합니다. 또한, 에셋은 소프트웨어 인터페이스 모델을 사용하여 같은 것을 편리하게 프로그래밍하고 모니터링합니다. NOVELLUS Avanti 472에는 OSHA 요구 사항을 충족하고 연마 작업을 수행하는 동안 운영자의 안전을 보장하는 통합 안전 장비 (Integrated Safety Equipment) 가 장착되어 있습니다. 이 장치는 안정성과 내구성을 보장하는 스테인레스 스틸로 구성되었습니다. 이 시스템은 작동하기 쉽고, 효율적인 클리닝 장치 (cleaning unit) 를 갖추고 있어 웨이퍼의 표면이 먼지가 없고, 처리에 안전합니다. NOVELLUS AVANT I472는 반도체 재료의 생산 처리를 위해 설계된 안정적이고 비용 효율적인 기계입니다. 이 도구는 최소한의 연산자 (operator) 개입과 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 통해 고품질 광택 웨이퍼를 빠르고 쉽게 생성 할 수 있도록 합니다.