판매용 중고 NORVILLE Autoflow Integra #9294899

NORVILLE Autoflow Integra는 웨이퍼 제작 생산 라인을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 반복성 (repeatability) 및 변동 제어 (variation control) 를 위해 설계된 자동화된 프로세스와의 인상적인 통합 수준을 자랑합니다. 자동 흐름 인티그라 (Autoflow Integra) 는 연삭 (grinding) 으로 시작하여 최종 연마로 끝나는 모듈식 다중 단계 프로세스로 구성되며, 모두 단일 기계 내에서 수행됩니다. 통합 장치는 네이티브 옵티컬 비전 피드백 (Optical Vision Feedback) 을 통해 지속적인 성능 데이터와 피드백 제어를 제공하여 프로세스 반복성을 보장하고 최적화를 실현합니다. 각 통합 프로세스 단계는 조잡하고 미세한 연삭, 랩핑, 최종 연마 등 특수 스테이션으로 구성됩니다. 이러한 조합은 모두 균일 한 웨이퍼 표면을 가공할 때 NORVILLE Autoflow Integra를 극도로 정밀하게 제공합니다. 반복 가능성과 최대 구성 품질을 보장하기 위해 Autoflow Integra에는 광범위한 자동 프로세스 매개변수 (Automated process parameter) 사전 설정이 포함되어 있습니다. 연산자는 이러한 사전 설정을 사용하여 글로벌 프로세스 표준에 따라 그라인딩 (grinding), 랩 (lapping) 및 광택 (polishing) 매개변수를 최적화할 수 있으며 처리 중인 웨이퍼 유형에 따라 사용자정의 매개변수를 설정할 수도 있습니다. 이렇게 하면 최고의 장치 성능을 달성하기 위한 목적으로 표면 지형, 웨이퍼 (wafer) 기울기 (tilt) 및 기타 매개변수를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한 NORVILLE Autoflow Integra는 연삭 및 연마 알고리즘, 데이터 관리, 추적 및 모니터링 기능에 대한 액세스를 제공하는 직관적인 터치 스크린 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능은 머시닝 (Machining) 프로세스에 대한 강력한 통찰력을 제공하여 고유한 구성 요구를 충족하기 위해 청사진 처리 (blueprint processing) 를 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, Autoflow Integra의 필수 안전 기능은 웨이퍼를 가공하는 동안 연산자에게 마음의 평화를 제공합니다. NORVILLE Autoflow Integra (NORVILLE Autoflow Integra) 는 정전 또는 비상 정지의 경우 기계를 중지하는 안전 스위치 (Safety Switch) 와 예기치 않은 이벤트가 발생할 때 웨이퍼 손상을 방지하기 위해 여러 보호 기능을 제공합니다. Autoflow Integra의 다른 기능과 결합하여이 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 (polishing machine) 가 고급 웨이퍼 제조 프로세스의 필수 요소로 간주되는 이유는 분명합니다.