판매용 중고 NIKKO NFG-515 #9093450

NIKKO NFG-515는 반도체 웨이퍼, 결정 및 기타 부드러운 표면의 컨디셔닝에 이상적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 반자동 시스템은 직경이 최대 5 "인 기질의 단일 및 배치 연삭, 랩핑 및 연마가 가능하며, 정확성과 반복성이 우수합니다. 이 장치에는 플래튼 (platen) 에서 기판을 정확하게 배치 할 수있는 플랫 베드 (flatbed) 작업 단계가 장착되어 있으며, 공급 및 머신 로딩을위한 표준 4 인치 또는 5 인치 카세트를 수용하도록 설계되었습니다. 카세트 로더는 애플리케이션 요구사항과 처리할 웨이퍼 수에 따라 수동 (manually) 또는 자동화 (automation) 모드로 작동할 수 있습니다. 연삭, 랩핑 및 연마 공정은 2 개의 별도의 고해상도 스테퍼 모터 드라이브로 구동되며, 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 이 도구는 원하는 재료 제거 속도 (material removal rate) 및 서피스 마무리에 따라 다양한 그라인딩 미디어 (grinding media) 및 연마 패드를 사용하여 그라인딩, 랩 및 폴링 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. 에셋은 원자 적으로 평평한 표면을 포함하여 광범위한 표면 마무리 및 미세 구조를 제공 할 수 있습니다. 플래튼에는 최대 2000RPM 범위의 가변 속도 드라이브 (Variable Speed Drive) 와 최대 1000N (Force) 이 포함됩니다. 이 가변 속도는 재료 제거 속도를 정확하게 제어 할 수있는 반면, 정확한 마이크로 스텝 제어는 탁월한 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 모델에는 모션 컨트롤러 (motion controller) 가 장착되어 있어 복잡한 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스의 정확한 프로그래밍이 가능합니다. NFG-515 장비에는 연삭, 랩핑 및 연마 공정 외에도 진공 보조 가공 용 진공 척 (vacuum chuck), 더 큰 기판을위한 기판 홀더, 정확한 입자 강착을위한 입자 강착 시스템, 정밀한 힘 측정을위한 압력 감지 장치. 전반적으로 NIKKO NFG-515는 반도체 웨이퍼, 결정 및 기타 부드러운 표면의 컨디셔닝을위한 소형, 정확하고 다재다능한 기계입니다. 이 도구는 planarization, CMP (chemical-mechanical polishing) 및 기타 표면 처리 작업과 같은 까다로운 응용 프로그램에 이상적입니다. 가변 속도 드라이브 (Variable Speed Drive), 정확한 포지셔닝 및 마이크로 스텝 제어 (Micro-Step Control) 와 결합된 탁월한 단일 및 배치 처리 기능은 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공하여 수작업, 반자동, 자동 처리에 적합합니다.