판매용 중고 NELMOR RG1215-M1 #9114116

NELMOR RG1215-M1은 반도체 처리, MEMS 제조 및 기타 관련 응용 프로그램에서 최대 성능을 발휘하도록 설계된 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고급 2 축 그라인딩 헤드, 양면 랩핑 테이블 및 옵션 휠 연마 스테이션으로 구성됩니다. 2 축 연삭 헤드는 연삭 모터, 연삭 휠 및 높은 정확도 로터리 서보 모터로 구성됩니다. 회전 서보 모터 (rotary servo motor) 는 연삭 휠의 회전을 0.01 ° 단위로 제어 할 수 있습니다. 정확한 제어를 통해 웨이퍼의 정확하고 높은 성능을 얻을 수 있습니다. 심지어 "그라인딩 휠 '의 마모 를 줄이기 위해 저속 으로 갈기 도 한다. 연삭 헤드의 통합 자동 Z축 (Z축) 을 사용하면 웨이퍼의 피쳐를 정밀하게 분쇄할 수 있습니다. "랩핑 테이블 '은 무료부동" 다이아몬드 패드' 를 이용해 양쪽에 평탄한 "랩핑 '과" 웨이퍼' 연마가 가능하도록 만들어졌다. 웨이퍼 양쪽을 한 패스로 랩핑할 수 있습니다. 각 랩핑 테이블에는 한 번에 최대 20개의 웨이퍼 (wafer) 를 포함할 수 있어 처리량이 높습니다. 내장 데이터 로깅 장치는 처리 시간, 랩핑 모드, 강제 적용과 같은 데이터를 제공합니다. 선택적 휠 연마 스테이션 (wheel polishing station) 을 사용하여 랩핑 또는 그라운드 웨이퍼를 마무리 할 수 있습니다. 웨이퍼 양쪽에서 동시에 고정밀 표면 연마 (high-precision surface polishing) 를 실행할 수 있습니다. 스테이션에는 연마 모터, 4 개의 연마 휠 및 스핀들 모터가 포함됩니다. 스핀들 모터 (spindle motor) 와 연마 모터 (polishing motor) 의 회전 동작은 매우 정확하고 반복 가능한 프로세스를 보장하기 위해 0.1 ° 단위로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 결론적으로, RG1215-M1은 반도체 처리를위한 뛰어난 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 정밀도, 정확도 및 반복성으로 파퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다.