판매용 중고 NAICHI FUJIKOSHI USP-9B #9166539

ID: 9166539
빈티지: 1985
Lapping machine 1985 vintage.
NAICHI FUJIKOSH I NAICHI FUJIKOSHI USP-9B는 매우 정밀한 웨이퍼 제조를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 소자 생산에 이상적이다. 정밀하고 반복 가능한 공정 때문이다. 이 시스템은 진동, 회전, 선형 드라이브 등 다양한 모션 시스템을 사용하여 각 웨이퍼를 정확하게 갈고, 랩하고, 닦습니다. 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding) 과정을 시작하기 위해 웨이퍼는 챔버에 배치되고 웨이퍼 홀더에 고정됩니다. 그런 다음, "웨이퍼 '의 가장자리 는 진동 이나 선형 구동 운동 을 사용 하여 연삭" 휠' 과 마주친다. 그것 은 고출력 과 정밀 한 연삭 "휠 '을 제공 해 주며, 이것 은" 웨이퍼' 를 잘 갈고 표면 의 거칠기 를 가능 하게 한다. 그런 다음 그라인딩 공정은 유닛의 제어기 (control machine) 에 의해 조절되어 그라인딩 휠 동작 매개변수의 정확한 조정을 보장합니다. 그 다음 "웨이퍼 '" 랩핑' 공정 은 "다이아몬드 '연마제 로 구성 된" 랩핑' 매체 를 사용 하여 보다 평평 하고 표면 으로 마감 된다. 이 프로세스는 원하는 마무리에 따라 회전 (rotation) 또는 선형 (linear) 드라이브 동작을 사용하여 수행됩니다. 그런 다음 "웨이퍼 '를 제어 하는 환경 에 정확 히 싸서 원하는 마무리 를 끝낸다. 이 과정의 마지막 단계는 웨이퍼를 연마하는 것입니다. "다이아몬드 '슬러리 는" 웨이퍼' 의 표면 을 연마 하는 데 사용 되며, 다시 같은 방 에서 수행 된다. 연마 과정은 정확하고 반복 가능한 동작 파라미터 (motion parameters) 에 의해 조절되며, 이는 완성 된 웨이퍼에서 우수한 표면 특성을 제공합니다. 그러면 완료된 웨이퍼가 공구에서 제거되어 검사됩니다. USP-9B는 뛰어난 수준의 표면 정밀도, 웨이퍼 마무리 및 형상으로 웨이퍼 생산을 보장합니다. 이 자산은 반도체 소자 응용프로그램 (반도체 소자 응용프로그램) 과 같은 고정밀 산업에 이상적이며, 이 분야에서는 엄격한 공차 (tight tolerance) 와 일관된 결과가 가장 중요합니다.
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