판매용 중고 NAICHI FUJIKOSHI SLM-140 #9050531
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NAICHI FUJIKOSHI SLM-140은 기판을 다듬기 위해 통합 2 단계 공정으로 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 기지는 공기 작동기 및 고정밀 서보 모터와 통합 된 사용하기 쉬운 기계입니다. SLM-140은 2 인치에서 8 인치까지 다양한 웨이퍼 크기의 효율적이고 정밀한 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 여러 가지 기능을 결합하여 웨이퍼 (wafer) 기판 전체의 고급 품질을 보장합니다. 세분화 된 그라인딩 휠 (grinding wheel) 은 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 결과를 제공하는 반면, 균일 하지 않은 그라인딩으로 인해 웨이퍼 파손을 제거합니다. 랩핑/연마 단계에는 표면 거칠기를 줄이고 고급 부품 간 일관성을 제공하기 위해 정밀 압력 제어 스핀들 헤드 (spindle head) 가 포함됩니다. NAICHI FUJIKOSHI SLM-140은 웨이퍼 기질의 양쪽에서 0.3 -m의 Roughness Average (Ra) 측정이 가능합니다. 이 장치는 또한 대용량 웨이퍼 (wafer) 를 빠른 속도로 처리하여 최고 품질의 마무리를 생성하도록 설계되었습니다. SLM-140 은 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있도록 비전 머신 (vision machine) 과 다양한 자동화 옵션 (automation option) 을 갖추고 있습니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 도구를 사용하여 웨이퍼 기판에서 피쳐를 찾고, 검사하고, 표시할 수 있습니다. 또한 이 자산을 통해 빠르고 정확한 시스템 설치, 모델 진단, 보정을 수행할 수 있습니다. 자동화 옵션에는 CNC (Computer Numerical Control) 기능, 상호 연결된 기계-기계 통신 및 연삭 및 랩/연마 단계의 매개 변수에 대한 자세한 정보를 제공하는 모니터링 장비가 포함됩니다. NAICHI FUJIKOSHI SLM-140은 고급 시스템으로, 다양한 웨이퍼 크기의 효율적이고 정밀한 연삭, 랩 및 연마를 위해 설계되었습니다. 분할 된 그라인딩 휠, 정밀 압력 제어 스핀들 헤드 (spindle head), 통합 비전 유닛 (integrated vision unit) 및 자동화 옵션을 통해 SLM-140은 고속 고급품질을 제공할 수 있습니다.
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