판매용 중고 NAICHI FUJIKOSHI NSP50N #9143489

NAICHI FUJIKOSHI NSP50N
ID: 9143489
빈티지: 1998
Polisher 1998 vintage.
NAICHI FUJIKOSHI NSP50N은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 정밀하고 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 완전 자동화 된 시스템이 특징이며 최대 300mm 두께의 2 ", 3", 4 "및 6" 제곱 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 단일 축 (single axis) 을 통합하여 로봇 암 (robotic arm) 을 중심으로 다양한 부품에서 일관된 수준의 표면 마무리를 제공하도록 설계되었으며 단일 및 다중 웨이퍼 처리에 모두 사용할 수 있습니다. NSP50N의 그라인딩 단계 (grinding stage) 는 로터리 스핀들 (rotary spindle) 을 사용하는데, 이 스핀들 (spindle) 은 뛰어난 표면 마무리를 제공하면서 높은 재료 제거 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 2 개의 유연한 지원 디스크를 통해 재고를 최소화하고 웨이퍼 파손을 최소화할 수 있습니다. 랩핑 및 연마 단계는 10 단계 연속 (continuous motion) 을 사용하여 광범위한 웨이퍼 두께와 지형에 대해 매우 효율적이고 균일 한 프로세스를 제공합니다. NAICHI FUJIKOSHI NSP50N은 또한 워터 제트 펌프 (Waterjet Pump) 및 냉각 장치를 사용하여 웨이퍼 파손을 최소화하고 품질 표면 마무리를 얻습니다. 워터젯 펌프 (waterjet pump) 는 다양한 노즐 크기를 사용하여 프로세스 매개변수를 더 크게 조정합니다. 또한, NSP50N 에는 먼지 수집 장치 (dust collection machine) 가 포함되어 있어 작업 환경의 오염이 최소화됩니다. NAICHI FUJIKOSHI NSP50N은 또한 웨이퍼 중심을위한 고급 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있으며, 서로 다른 웨이퍼 유형과 크기에 걸쳐 정확한 중심 및 일관된 표면 정확성을 제공합니다. 또한 이 기능을 사용하면 그라인딩/랩핑/광택 (grinding/lapping/polishing) 도구와 관련하여 웨이퍼 작업 서피스의 정확하고 반복 가능한 위치를 지정하여 원하는 결과를 일관되게 달성할 수 있습니다. 마지막으로, NSP50N 은 사용 범위가 엄격한 산업 표준을 따르도록 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 비상 정지 단추, 경량 빔 센서가 내장 된 응급 검사 창, 추가 보호를위한 연동 안전 덮개 (Interlocked Safety Cover) 가 포함됩니다. NAICHI FUJIKOSHI NSP50N은 또한 직관적 인 전체 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 기계의 효율적인 작동 및 프로그래밍을 보장합니다. 요약하면, NSP50N은 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고급, 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 단일 축 중심 로봇 암, 회전 스핀들 그라인딩, 10 단계 연속 모션 랩핑 및 연마, 워터 제트 냉각, 먼지 수집, 정확한 웨이퍼 센터 및 다양한 안전 기능이 특징입니다. 이 자산은 다양한 웨이퍼 크기와 두께 (thickness) 에 걸쳐 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리 및 일관된 품질 표면 마무리를 보장합니다.
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