판매용 중고 NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P #9073244

NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P는 도쿄에 본사를 둔 회사 인 Naichi Fukikoshi가 생산 한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 반도체 기판과 같은 단단하고 부드러운 재료를 정밀 분쇄, 랩 핑, 연마 할 수 있습니다. 9B-5L/P에는 강력한 30KW 스핀들 모터가 장착되어 있으며, 최대 150mm 직경의 웨이퍼를 가공할 수 있습니다. 작동 범위가 0.01 유체 정역학적 베어링 유닛이 있으며, 이는 파퍼의 정밀 연삭, 랩핑 및 연마가 0.1 µm - 0.002 äm의 마무리로 가능합니다. 이 기계는 자동 웨이퍼 로더, 자동 표면 검사 도구, 진행 중 모니터링 자산, 연삭 공구 냉각을위한 산업 등급 칠러 (chiller) 로 더욱 향상되었습니다. 게다가, 연마 표면의 교차 오염을 방지하는 슬러리 제어 모델이 있습니다. 9B-5L/P의 전체 구조에는 Work Station, Lap Station, Polishing Station 및 Control Unit의 네 가지 주요 구성 요소가 포함됩니다. Work Station은 스핀들 모터 (spindle motor), 고정밀 선형 가이드 (high-precision linear guide) 및 고속, 고밀도 전자 컨트롤러를 포함하는 장비의 주요 구성 요소입니다. 1,000 ~ 6,000 rpm의 제어 가능한 속도가 가능하며 진동 억제가 내장되어 있습니다. Lap Station에는 랩핑 플레이트, 다이아몬드 잉여 도금 연마제, 패드 홀더 및 냉각수 시스템을 지원하는 2 개의 랩 홀더가 있습니다. 폴리싱 스테이션 (Polishing Station) 은 연마 패드를 보유하고 있으며, 패드에 힘과 압력을 제공하고, 진행 중인 모니터링 장치를 수용합니다. Control Unit 에는 데이터 수집, 데이터 처리 및 결과 표시를 위한 장치가 포함되어 있습니다. 전반적으로 NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P는 견고하고 정밀한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 기존의 방법에 비해 시간과 비용을 크게 절감합니다. 기판, 금속, 세라믹의 정밀 머시닝에 적합하며, 미크론 레벨 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다.