판매용 중고 NAGASE INTEGREX W-4 #170039

NAGASE INTEGREX W-4는 완전 자동 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 고급 머신 기능으로 설계되었으며, 균일성, 일관성, 정밀도에 대한 매우 높은 정확도 표준을 충족할 수 있습니다. 시스템은 XY 모션 스테이지로 웨이퍼를 로드하는 것으로 시작합니다. 로드가 완료되면, 웨이퍼는 자동으로 연삭 단계로 전송됩니다. 여기서 공기 베어링 스핀들 (Air Bearing Spindle) 은 입자 생성의 낮은 위험에서 원하는 고급 마무리를 달성하기 위해 초고속 회전 (Ultra-High Speed Rotation) 을 제공합니다. 그라인딩은 메인 샤프트 회전 속도, 위치 및 다운 힘의 모니터링을 통해 제어됩니다. 연삭 과정 이 끝나면, "웨이퍼 '들 이" 랩핑' 단계 로 옮겨진다. 여기서, 선형 동작 벨트는 웨이퍼를 구동하고 입자 방출을 최소화하는 데 사용된다. 랩핑 스핀들 (lapping spindle) 은 모든 축에 활성 진동 댐핑 장치 (active vibration damping unit) 와 정밀 서보 모터 (precision servo motor) 로 설계되어 최고의 정확도를 제공합니다. 마지막으로 웨이퍼는 연마 단계로 운송됩니다. 능선 강철 연마 디스크 (ridged steel polishing disc) 가 사용되는데, 이는 동적으로 균형을 이루고 동적 공기 추력을 가지고 나노 미터 수준에서 정확성을 제공합니다. 연마 압력은 결말을 제어하는 동안 불완전성을 제거하기 위해 정확하게 제어 할 수 있습니다. W-4 (W-4) 는 롤러 배출 기계를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 와 단일 컨베이어 (conveyor) 를 분출하여 나머지 프로세스를 가장 정밀하게 이동합니다. 또한, 이 도구는 입자 생성을 억제하기위한 클린 룸 (cleanroom) 호환 설계와 장비와 인간 모두를 갑작스런 손상으로부터 보호하기위한 안전 자산 (safety asset) 을 모두 갖추고 있습니다. 전체적으로 NAGASE INTEGREX W-4는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 고성능 모델입니다. 반도체· 의료기기 업계에서 "최고 속도 (Optimal Speed) '와" 정밀도 (Precision)' 를 내세우도록 설계됐다.