판매용 중고 MITSUI SEIKI MSG-200MH #170055
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MITSUI SEIKI MSG-200MH는 반도체 웨이퍼의 정밀한 평평한 표면 제작을 위해 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고품질 스핀들 어셈블리 (spindle assembly) 와 드레서 (dresser) 를 갖추고 있어 부품의 평평함과 거울과 같은 마무리를 보장합니다. "와퍼 '와 기타 기판 들 에 대한 예외적 인 표면 마감 을 가능 케 하기 위하여" 데버링' 과 연마 를 위한 "다이빙 블레이드 '와" 블레이드' 를 공급 한다. 처리 중 뛰어난 표면 평면도 및 정확도를 제공하기 위해 전체 커버리지 웨이퍼 그라인딩 테이블 (full-coverage wafer grinding table) 이 포함되어 있으며, 조절 가능한 브리지 지원으로 전체 그라인딩 표면에 충분한 압력이 적용됩니다. MSG-200MH 장치에는 직관적인 GUI 인터페이스가 장착되어 있어 애플리케이션 요구 사항에 가장 적합한 도구 경로 (Tool Path) 및 기타 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 가공소재는 공기 압력 스타일 소모성 흡입 컵 (air pressure-style consumable suction cup) 으로 뒤섞여 있으며, 연삭 중에 조절 가능한 다리를 따라 자동으로 회전하고 이동합니다. 스핀들 어셈블리는 1500 ~ 3500 rpm 사이의 다양한 속도를 가능하게하여 최적의 연마 프로세스를 제공합니다. 또한, 모터에는 정확한 스핀들 제어를 위해 높은 정확도의 로터리 인코더가 장착되어 있습니다. MITSUI SEIKI MSG-200MH에는 펠트 및 펠트 복합 연마제, 자기 백업 플레이트 및 엘라스토머 컨투어 플레이트를 포함하여 ± 50nm에서 ± 500nm의 미세 표면 정확도에 대한 랩 및 연마 액세서리도 포함됩니다. 자동 윤활기 (Automatic Lubrication Machine) 도 도구에 포함되어 있으며, 이 도구는 비싼 소모품의 소비를 최소화할뿐만 아니라 정확하고 반복 가능한 중앙 웨이퍼 로딩을 보장합니다. 고급 필터 기능이있는 진공 청소 자산 (vacuum cleaning asset) 도 깨끗하고 먼지가없는 연삭 표면을 보장합니다. MSG-200MH는 반도체 웨이퍼 및 기타 기판의 정확한 평평한 표면 제조를위한 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 이 장비는 고품질 스핀들 (spindle) 어셈블리, 드레서 (dresser) 및 조절 가능한 브리지 지원을 통해 일관된 연삭 표면 평면성과 정확성을 보장합니다. 직관적인 제어판 (control panel) 을 통해 사용자는 애플리케이션 요구에 가장 적합한 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. ± 50nm에서 ± 500nm 사이의 미세한 표면 정확성을 위해 랩핑 및 연마 액세서리가 포함되어 있습니다. 자동 윤활 시스템과 먼지가없는 분쇄를위한 고급 여과 시스템을 갖춘 MITSUI SEIKI MSG-200MH는 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 훌륭한 장치입니다.
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