판매용 중고 MELCHIORRE SP3 1000 #171213
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ID: 171213
Twin spindle grinder/lapper
26" Chuck Diameter
Vertical Spindle
Power: 20 HP
26" Swing
8" Under Wheel.
MELCHIORRE SP3 1000 (MELCHIORRE SP3 1000) 은 반도체 및 전자 산업 내 부품 및 재료의 정밀 머시닝에 사용하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 매우 정밀하게 평면 (flat surfaces) 을 처리할 수 있는 다양한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 서피스를 사전 설정된 사양에 연삭, 랩핑 및 연마 (예: 표면 거칠기와 프로파일, 웨이퍼 얇음, 웨이퍼 백-얇음, 랩핑 및 연마) 하여 서로 다른 속도와 재료 제거 속도를 제공합니다. 또한, 기계 는 두께 와 크기 가 다른 "웨이퍼 '와" 실리콘', 사파이어, 유리 등 여러 가지 재료 를 가공 할 수 있다. 이 도구에는 HMI 콘솔이 있습니다. HMI 콘솔을 사용하면 연산자가 연삭 속도 (grinding speed), 습식 (wet) 또는 건조 (dry) 작업, 다양한 유형의 재료 처리를 위해 자동 프로그램 루프를 설정할 수 있습니다. 에셋에는 또한 데이터 획득 모델 (data acquisition model) 이 있어 표면 거칠기, 프로파일, 재료 제거 속도를 쉽게 측정하고 제어할 수 있습니다. 이 장비는 연삭 및 랩핑 공정을 위해 고정밀 다이아몬드 그라인딩 휠 (high-precision diamond grinding wheel) 을 사용하며, 정밀하게 제어 된 공급 힘은 최대 20N입니다. 그 다음 "랩핑 '과정 에 이어 연마 과정 이 나오는데, 그 과정 전체 에 걸쳐 일정한" 토크 모우터' 를 사용 하여 균일 한 연마력 을 가한다. 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 프로세스는 매우 높은 정확도로 달성되며, 시스템은 최대 300mm까지 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 전체 웨이퍼 처리 시간은 5 분 미만입니다. 또한 자동화된 로더/언로더 (loader/unloader), 검사 장치 (inspection unit) 및 CMP 머신 (machine) 과 같은 추가 외부 시스템과 결합하여 다양한 기능을 제공할 수 있습니다. SP3 1000 도구는 다양한 고급 기술을 활용하여 구성 요소와 재료의 정밀 머시닝 및 연마 기능을 제공합니다. 이러한 기술과 사용자 친화적 인 HMI 콘솔의 조합은 웨이퍼 그라인딩 (Wafer Grinding) 및 연마 (Polishing) 를 위해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하므로 고품질 제품과 재료를 생산할 수 있습니다.
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