판매용 중고 MAT ARW461MSG #9225551
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ID: 9225551
빈티지: 2009
CMP System
Process chemicals during production:
Semi-sperse25
Common name: SS-25
Maker: Cabot microelectronics japan
Water
Substrate:
Synthetic quartz
Tempax
2009 vintage.
MAT ARW461MSG는 고성능 처리 공정에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 높은 토크 모터로 구동되는이 시스템은 반복 가능하고 맞춤형 랩핑 및 연마 작업을 위해 독립적 인 프로그래밍 능력을 갖춘 2 개의 그라인딩 단계를 갖추고 있습니다. 2 단계 단위는 입자 크기와 내구성을 최적화하면서 균일한 웨이퍼 두께를 보장합니다. 제 1 단계는 웨이퍼에 걸쳐 재료를 균등하게 분산시키는 특수 설계 된 컵을 사용하는 반면, 제 2 단계는 고압 에어 제트를 사용하여 반복 가능하고 정확한 랩핑 결과를 얻습니다. ARW461MSG는 또한 입자를 40 m 미만으로 수집하고 필터링하는 통합 역 여과 기계를 갖추고 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 도구 에는 효율적 이고 깨끗 한 "랩핑 '과 연마 결과 를 낼 수 있는 먼지 추출 자산 이 들어 있다. 이 모델은 최적의 사용자 친화력과 편의성을 제공하는 터치스크린 제어판 (touch-screen control panel) 을 통해 작동합니다. MAT ARW461MSG는 또한 기존 자동화 프로세스에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. PLC 또는 기타 자동화 장비로 제어 할 수 있으므로 생산 처리 라인 (production processing line) 에서 자율 작동이 가능합니다. 또한, 이 시스템은 움직이는 동안 웨이퍼에 대한 액세스를 방지하여 운영자 안전을 향상시키는 배리어 그레이 (barrier grey) 안전 패널 (safety panel) 을 포함한 여러 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 또한 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능을 제공하여 웨이퍼의 표면 품질 및 지형을 통합된 실시간 모니터링을 제공합니다. 전반적으로 ARW461MSG는 높은 처리량 프로세스에서 효율적으로 작동하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기계입니다. 생산 라인과 실험실 모두에 이상적인이 도구는 고급 안전 및 도량형 (metrology) 기능을 제공하면서 정확한 결과를 보장합니다.
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