판매용 중고 LZ RAPID 16S #9389326

LZ RAPID 16S
ID: 9389326
Double sided polishing machine.
LZ RAPID 16S는 반도체 웨이퍼 제작에서 효율성이 높도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비다. 16 인치 로터리 테이블이 장착되어 있으며 8 인치 및 12 인치 웨이퍼에 적합합니다. 단일 전기 모터 (Electric Motor) 에 의해 구동되며, 최소한의 수동 개입으로 고속, 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 연삭, 랩핑, 연마 프로세스의 조합을 사용하여 함께 작업하여 원하는 결과를 얻습니다. 그라인딩 프로세스 (grinding process) 는 로터리 테이블의 웨이퍼 (wafer) 를 회전시키고 웨이퍼 (wafer) 를 원하는 치수로 갈아서 형성하기 위해 웨이퍼에 연마 디스크를 적용하는 것으로 구성됩니다. 랩핑 프로세스는 웨이퍼 서피스에서 랩핑 필름 (lapping film) 을 사용하여 웨이퍼 서피스를 매끄럽게 하고 평평하게 합니다. 연마 과정에는 연마 제를 웨이퍼 표면에 적용하는 것이 포함됩니다. 이 프로세스는 원하는 치수 정밀도를 유지하면서 스크래치와 구덩이를 제거하는 데 효과적입니다. 16S는 균일하고 반복 가능한 결과를 위해 설계되었습니다. 다중 축 기능을 통해 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '의 크기 와 모양 이 조금씩 수동적 인 개입 으로 이루어지게 된다. 또한, 이 장치는 생산비를 절감하고, 다른 웨이퍼로도 일관된 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 스파크가 위험한 환경을 만드는 것을 막는 안티 스파크 (Anti-spark) 메커니즘을 포함한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 수냉식 도구 (water cooling tool) 를 장착 할 수 있으며, 이는 연삭 과정에서 웨이퍼 표면이 고온에 도달하지 못하게합니다. 빠른 체인지오버 (changeover) 를 위해 빠르고 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었으며, 다양한 연마재와 호환됩니다. LZ RAPID 16S도 최소한의 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 부품은 필요할 때 쉽게 교체할 수 있도록 설계되어, 자산의 장기적인 성능을 보장합니다. 또한, 설계는 빈번한 윤활의 필요성을 줄이고 장기적으로 일관된 품질 결과를 보장합니다.
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