판매용 중고 LOH / WETZLAR R-F1 #9161353

LOH/WETZLAR R-F1은 반도체 산업의 고품질 요구 사항에 도달하도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 운영 체제의 개입을 최소화하면서 완전 자동화 (Fully Automated) 모드에서 실행하여 처리량을 높이고 효율성을 높일 수 있습니다. LOH R-F1 시스템은 축 및 방사형 런아웃에 맞게 조정 할 수있는 공기 베어링 스핀들을 갖추고 있습니다. 이것은 두 개의 스테퍼 모터 (stepper motor) 에 의해 추가로 지원되며, 최대 제어 및 정밀도를 제공하여 뛰어난 표면 평면을 달성합니다. 래핑 헤드 (lapping head) 는 연마제 연마 패드를 빠르고 쉽게 변경할 수 있도록 잠글 수 있으며, 다양한 두께의 웨이퍼를 처리하기위한 큰 회전 각도 (swivel angle range) 가 있습니다. 랩핑 암의 독특한 디자인은 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하는 반면, 에어 베어링 슬러리 (air-bearing slurry) 유통 업체 및 밀봉 (seal) 은 정확하고 일관된 화학 적용을 보장합니다. 연삭, 랩핑, 연마 프로세스는 모두 직관적이고 사용하기 쉬운 터치 스크린 인터페이스를 통해 관리됩니다. 따라서 고객 사양에 따라 장치를 정확하게 구성할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 설계를 통해 배치 모드 (batch mode) 작업을 수행할 수 있습니다. 여기서 연산자는 반복 시퀀스에 대해 여러 프로그램을 설정할 수 있습니다. 압력 (pressure), 패드 속도 (pad speed) 와 같은 추가 매개변수도 실시간으로 조정하여 프로세스를 최적화하고 처리량을 향상시킬 수 있습니다. WETZLAR R-F1은 고급 냉각 시스템을 사용하여 표면 마무리 및 최소 샘플 손상을 보장합니다. 여기에는 모든 롤러의 냉각 재킷과 고급 에어컨센서 냉각기가 포함됩니다. 이 도구에는 PLC 안전 컨트롤러 (PLC Safety Controller) 와 과속 (overspeed) 및 과열 (over-temperature) 보호를 포함한 여러 안전 기능이 장착되어 있어 운영자 보호 및 샘플 무결성을 보장합니다. 마지막으로, R-F1 은 모든 프로세스 추적성을 지원하므로 모든 운영 프로세스를 손쉽게 모니터링, 추적, 제어할 수 있습니다. 자산은 또한 전체 기록 보관 (Full Record Keeping) 및 보고 (Reporting) 기능을 통해 프로세스와 제품의 품질을 최적화하는 데 사용할 수 있는 모든 매개변수에 대한 정보를 제공합니다.