판매용 중고 LOH Toro-X-1000 #9047153

LOH Toro-X-1000은 LOH Advanced Technic에서 제조 한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 반도체 산업의 웨이퍼 레벨에서 포스트 다이킹에 이상적입니다. 이 시스템에는 최대 76.2mm (3 인치) ~ 6 인치 (152.4mm) 직경의 웨이퍼를 쉽게 처리 할 수있는 전자 제어 단계와 연삭 단계가 있습니다. Toro-X-1000에는 자동 연삭 및 랩핑 제어 장치, 온도 조절 기계, 거품 청소 도구 및 압력 제어 자산이 장착되어 있습니다. 모델의 구조는 전자 제어 단계 (electronic control stage), 항공 선 장비 (air line equips) 및 연삭 단계 (grinding stage) 로 구성됩니다. 전자 제어 단계는 PC 제어 장치, 스테퍼 모터 컨트롤, 수냉식 시스템 및 교정 회로로 구성됩니다. PC 제어 장치는 와퍼 직경 설정 (wafer diameter setting), 휠 전원 설정 (wheel power setting) 과 같은 설정 작업에 사용되며 연삭 품질을 제어합니다. 스테퍼 모터 (stepper motor) 컨트롤은 연삭 과정에서 일정한 휠 속도를 유지하는 데 사용됩니다. 수냉식 장치 (water cooling unit) 는 연삭 바퀴를 식히고 과열 (over-heating) 으로부터 보호하는 데 사용되는 반면, 교정 회로는 연삭 과정에서 정확성을 보장합니다. LOH Toro-X-1000 도구의 공기 선 머신 (air line machine) 은 송풍기에서 연삭 단계로 압축 된 공기를 펌핑하여 연삭 표면으로의 공기 흐름을 생성합니다. 이 공기 흐름은 연삭 표면 (grinding surface) 을 식히고 공정 중에 발생하는 열을 소멸시키는 데 도움이됩니다. 그라인딩 단계에는 그라인딩 컵 홀더 (grinding cup holders), 그라인딩 휠 (grinding wheels) 및 실드 (shields) 가 포함되어 있습니다. 그라인딩 휠은 일반적으로 다이아몬드 도금이며 웨이퍼 유형에 따라 크기가 다릅니다. Toro-X-1000 자산의 연삭 과정은 주요 연삭 작용, 랩핑 및 연마 단계로 구성됩니다. 주 "그라인딩 '작용 은" 웨이퍼' 의 얇은 층 을 잘라 "랩핑 '과 연마 의 출발점 을 형성 한다. 랩핑 단계 동안, 기계는 웨이퍼 표면을 랩하기 위해 반대 방향으로 움직이는 2 개의 바퀴로 구성됩니다. 연마 단계에서 다이아몬드 입자가있는 회전 연마 패드 (Rotating Polishing Pad) 는 웨이퍼 표면을 연마하여 균일 한 마무리를 추가합니다. 요컨대 LOH Toro-X-1000은 최대 6 인치 웨이퍼를 처리하도록 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 종합적인 전자 제어 단계, 그라인딩 휠 (grinding wheel) 및 에어라인 (air line) 장비를 갖추고 있으며 연삭, 랩핑 및 연마 단계에서 정확한 제어 및 보호를 제공합니다. 이 시스템의 첨단 기능은 반도체 업계의 포스트 다이빙 (post-dicing) 에 이상적입니다.