판매용 중고 LOH RF 3A #77401

LOH RF 3A는 최첨단 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 (WGPL) 장비입니다. 이 다목적 가공 시스템은 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 기능을 모두 통합하여 웨이퍼의 여러 머시닝 프로세스를 허용합니다. RF 3A는 직경이 최대 8 인치 인 3 인치 및 4 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 독특한 아키텍처를 갖추고 있습니다. 강력한 로봇 공구 체인저 (changer) 로 구동되며, 다양한 연삭 및 연마 휠을 처리 할 수 있습니다. LOH RF 3A 장치는 고정밀 스캐너, 모션 컨트롤 머신 및 로봇 IO 모듈로 설계되었습니다. 스캐너는 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하고 진행 중인 검사를 수행합니다. 워퍼 레시피 (wafer recipe) 라이브러리가 내장되어 있으므로 설정이 다른 다양한 웨이퍼를 안정적으로 머시닝 할 수 있습니다. 동작 제어 도구 (Motion Control Tool) 는 위치 지정, 연삭 및 연마 작업에서 빠른 속도와 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 로봇 IO 모듈은 모든 머시닝 매개변수에 대해 정확하고 반복 가능한 제어를 제공합니다. RF 3A는 머시닝 영역 내에서 온도를 유지하기 위해 내장 칠러를 갖추고 있습니다. LOH RF 3A는 높은 품질과 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 매우 평평하고 부드러운 표면 마무리로 웨이퍼를 남길 수 있습니다. 이 기계는 매우 자동화되어 있으며, 한 세션에서 여러 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 구성 능력이 뛰어나 다중 머시닝 작업 및 프로세스가 가능합니다. 에셋은 강력한 컴퓨터 기반 프로세스 컨트롤러 (computer-based process controller) 에 의해 실행되며, 설정과 매개변수에서 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 또한 RF 3A는 가장 안정적인 안전 기능으로 설계되었습니다. 안전 인터 록 (Safety Interlock) 및 기타 안전 기능으로 구축되어 기계의 안전하고 적절한 작동을 보장합니다. 이 모델은 기계적, 전기적, RF와 호환되므로 다양한 웨이퍼 응용 프로그램에 적합합니다. LOH RF 3A (LOH RF 3A) 는 쉽고 직관적인 인터페이스와 설치 기능을 제공하므로 운영자가 서로 다른 프로세스에 대해 빠르고 효율적으로 시스템을 설정할 수 있습니다. 전반적으로 RF 3A는 고가용성, 신뢰성 있는 WGPL 장비로, 특히 웨이퍼 머시닝을 위해 설계되었습니다. 정밀 스캔 및 동작 제어 시스템, 로봇 공구 교환기 및 자동 프로세스는 반복 가능하고 고품질 머시닝 결과를 제공합니다. LOH RF 3A는 구성 가능하며 다양한 웨이퍼의 여러 머시닝 프로세스에 사용할 수 있습니다.