판매용 중고 LOGITECH PM5 #293630266

LOGITECH PM5는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 광택 장비입니다. 이 시스템은 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 와 같은 결합 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 고효율적이고 구체적으로 설계되었습니다. 이 기계에는 300mm 또는 450mm 자동 양면 연삭 장치와 300mm 또는 450mm 단면 연마 챔버가 장착되어 있습니다. 효율적인 정밀 연삭 및 연마를위한 냉각 제어 밸브와 진공 척 (vacuum chuck) 이 있습니다. 또한, 기계는 다른 두께의 웨이퍼에 대해 이중 챔버 랩핑 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한, 유연한 자동화 장치를 통해 멀티태스킹과 다른 처리 단계를 통합할 수 있습니다. 기계의 핵심은 정밀 드라이브 머신 (precision drive machine) 과 뛰어난 표면 마무리를 제공하기 위해 동기화 된 연삭/연마 장치 (grinding/polishing unit) 를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 연삭/연마 장치에는 2 개의 다이아몬드 헤드가 장착되어 있으며, 이 헤드는 2 개의 프로그래밍 가능한 주파수 모터에 의해 독립적으로 구동되어 정확하고 균일 한 결과를 제공합니다. 다이아몬드 헤드는 4000/5000 rpm에서 회전하고 거의 완벽한 구형 표면 마무리를 생성합니다. 이 기계는 또한 고급 센서와 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 장착하여 매개 변수 설정을 쉽게 할 수 있습니다. 또한 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼, 호감 방지 (Crush Protection) 및 중앙 장치 (Central Unit) 와 같은 다양한 안전 기능을 제공하여 기계의 성능을 지속적으로 모니터링하고 자세한 감사 보고서를 작성합니다. 요약하면, LOGITECH PM 5 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구는 생산 수준 처리량을 위해 설계된 고효율적이고 고급 CMP 기계입니다. 사용이 간편한 사용자 인터페이스와 상세한 감사 보고서를 통해 표면을 정확하고 균일하게 마칠 수 있습니다. 유연한 자동화 자산 (automation asset) 을 통해 여러 처리 단계를 통합하여 다양한 애플리케이션에 적합합니다.