판매용 중고 LOGITECH 1CM51-CDP #9379071

ID: 9379071
CMP Polisher.
LOGITECH 1CM51-CDP 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 높은 정밀도 및 낮은 결함 웨이퍼 표면 정확도를 제공하도록 설계된 자동화된 컴퓨터 제어 연마 시스템입니다. 이 장치는 최신 자동화 기술 (Automation Technology) 로 설계되어 최고의 처리량과 가장 안정적인 성능을 제공합니다. 이 기계는 고성능 서보 모터로 구동되는 3 축 간트리 로봇을 사용하여 X, Y 및 Z 축에서 정확하고 반복 가능하며 정확한 동작을 제공합니다. 개리 로봇 (Gantry Robot) 은 듀얼 스테이지 웨이퍼 지원 도구를 사용하여 높은 정밀도와 반복 성을 제공하여 직경 800 밀리미터까지 웨이퍼를 이동 및 조작할 수 있습니다. 에셋은 또한 최첨단 비전 기반 정렬 모델을 사용하여 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 로봇 공구 경로 정확도를 제공합니다. 1CM51-CDP는 완전히 밀폐된 장비로, 통합 프로세스와 진단 모니터링 및 제어를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 단면 또는 양면 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 모두 수행할 수 있습니다. 그라인딩은 단면 dowel 장착 다이아몬드 휠을 사용하여 수행되며, 랩핑은 특별히 설계된 양면 랩핑 플레이트에서 수행됩니다. 이 장치는 1.0 나노 미터 미만의 표면 거칠기 (Ra) 마감이 가능하며, 웨이퍼 표면 결함 자유 결과를 생성 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 "웨이퍼 '내 에 잔류" 스트레스' 가 적어져서, 광범위 한 응용 과 기판 에 이상적 이다. 이 도구는 Silicon, Sapphire, Quartz 및 Gallium Arsenide를 포함하여 다양한 웨이퍼 재료를 지원합니다. 이 자산은 안전하고, 효율적이며, 유지 관리가 부족하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 모션 및 안전 시스템 어레이 (Array of Motion and Safety System), 시스템 및 운영자의 안전을 보장하는 서보 구동 케이스 (Servo-Driven Enclosure) 를 갖춘 종합적인 안전 연동 장비가 있습니다. LOGITECH 1CM51-CDP 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장치는 정확하고, 정확하며, 결함이 없는 웨이퍼 표면을 달성하기 위해 매우 다양하고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 이 기계의 고급 제어 및 처리 (Advanced Control and Processing) 기능은 강력하고 신뢰할 수 있는 서보 (Servo) 방식의 모션 시스템과 연계되어, 광범위한 웨이퍼 (Wafer) 재료와 기판을 처리하기 위한 고성능, 경제적인 도구를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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