판매용 중고 LAPMASTER XLP-15 #9156518

LAPMASTER XLP-15
ID: 9156518
Single sided polisher.
LAPMASTER XLP-15는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 최첨단 장비는 반도체 제작 시설 및 연구 실험실에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 기계는 웨이퍼 연삭 및 연마 용도로 특수 원형 유연 롤러 텀블러를 사용합니다. 이 텀블러는 직경 최대 150mm의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 그라인딩 서피스 (grinding surface) 는 매우 매끄럽고 웨이퍼 서피스에 가장 높은 수준의 서피스 마무리를 제공하여 우수한 품질의 결과를 제공합니다. 기계는 중앙 환형 구동 시스템 (Central annular drive system) 과 결합하여 전체 웨이퍼 표면에서 정확하고 균일 한 연삭 및 연마 압력을 제공합니다. 이 기계는 또한 동시 랩핑 및 연마를위한 선형 구동 연마 헤드를 특징으로합니다. 조정 가능한 연마식 헤드 스피드를 가지고 있으며, 빠르고 정밀한 연삭 및 연마 작업이 가능합니다. 머리는 또한 자체 포함 된 진공 웨이퍼 클램핑 장치 (vacuum wafer clamping unit) 를 갖추고 있어 랩핑 및 연마 주기 동안 웨이퍼 정렬을 확보합니다. 이 기계는 드릴 샤프트 (drill shafts) 와 냉각제 플렉시블 호스 (flexible hoses) 의 온도 조절 물 냉각을 제공하여 최소 발열을 보장합니다. 엔진에는 고급 결함 진단 장치 (Advanced Fault Diagnosis Machine) 가 장착되어 있어 문제를 쉽게 파악할 수 있습니다. 이 도구에는 정확한 연삭 및 연마 결과를 위해 완전히 자동화 된 컴퓨터 제어 블레이드 (computer controlled blade) 피드도 포함되어 있습니다. 사용되는 블레이드 유형은 원하는 애플리케이션에 따라 선택됩니다. 블레이드는 최대 수명을 위해 열 처리됩니다. 또한, 기계에는 멀티 축 비디오 카메라 에셋 (multi-axis video camera asset) 이 장착되어 있어 사용자가 처리 중에 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 이 모델은 실시간 시각적 피드백을 제공하여 최적의 결과를 위해 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 매개변수를 조정할 수 있습니다. 전반적으로 XLP-15는 매우 고급적이고 다목적 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 최첨단 기술 및 기능을 통해 모든 반도체 제작 설비 (Bufrication Facility) 나 연구 실험실 (Research Laboratory) 에 이상적인 선택이 가능합니다.
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