판매용 중고 LAPMASTER 48 #9203948
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ID: 9203948
빈티지: 1952
Polishing machine
Equipped with:
Lapping plate diameter, 48"
Polishing pad: Gray rock for optics
(2) Carrier aluminum rings, 18"
Granite bruiser, 22"
Motor:
DC Gear motor with AC inverter controller
Speed: 10 - 200 RPM
Power: 220 V, 3-Phase
1952 vintage.
LAPMASTER 48은 다양한 웨이퍼 제작 공정 (wafer fabrication process) 을 위해 설계된 예술 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비의 상태입니다. 이 시스템은 모듈식 설계를 가지고 있습니다. 즉, 현미경 초박형 Si 레이어 (< 20um) 에서 최대 300mm 직경의 초두께 기판까지 다양한 크기 요구 사항에 맞게 구성 할 수 있습니다. 코어 구조는 정밀 모터에 연결된 특허 정지형 스핀들 (Stationary Spindle) 과 정밀 웨이퍼 연삭 및 연마 요구를 충족시키기 위해 높이와 기울기 (tilt) 를 조정할 수있는 다중 축 자동 동작 장치 (Multi-Axis Automated Motion Unit) 로 구성된 수직 머시닝 헤드 어셈블리로 구성됩니다. 지지 연삭/연마 시스템에는 최대 20,000 RPM과 +/- 2 jm의 정확도를 생성 할 수있는 고급 전기 스핀들 모터가 있습니다. 부착 된 "다이아몬드 '" 래핑' 디스크 는 "웨이퍼 '에서" 웨이퍼' 에 이르는 최적 의 반복 가능성 을 위해 정밀 조절 장치 로 프로그래밍 된다. 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 장치 (polishing machine) 는 공구의 효율적이고 정확하며 안전한 작동을 위해 독특한 칩 컨트롤러를 제공합니다. 컴퓨터 설치 시간 및 최소 연산자 상호 작용을 크게 줄이기 위해 프로그래밍되었습니다. 모듈 식 구조는 또한 재순환 냉각 자산, 진공 필터, 공기 필터 송풍기, 광선 진단 (light-beam diagnostics) 및 특정 응용 프로그램 요구를 위한 기타 사용자 정의 구성 요소와 같은 추가 구성 요소를 통합하는 유연성을 제공합니다. 장비의 편리한 설치· 운영을 위한 정교한 소프트웨어도 탑재됐다. 설치 및 운영 프로세스를 통해 사용자를 안내하는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 지원합니다. 이 시스템은 또한 정확하고 반복 가능한 작업을 위해 포괄적인 제어 프로그램 라이브러리를 제공합니다. 결론적으로, 48 개는 가장 까다로운 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고급, 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 구성 능력이 뛰어나고 뛰어난 정확성과 반복성을 제공하므로 반도체 장치 제작, 광학/광학 연마, 광학 박막 (Thin Film) 생산 등의 어플리케이션에 적합합니다.
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