판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE 3D #293615348
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ID: 293615348
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Plating system, 12"
(2) Load ports
(4) Process chambers
Copper layer
Missing parts
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. NOVELLUS SABRE 3D는 범용 요구사항 (범용 요구사항) 부터 최첨단 반도체 장치 제작까지 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. ISO 및 미세 서피스 마무리 작업에 대해 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. LAM RESEARCH SABRE 3D는 몇 가지 혁신적인 기술을 활용하여 탁월한 성능을 제공합니다. 단일 스핀들 및 모터는 탁월한 반복성, 정확성 및 동적 반응을 제공합니다. 통합 클램핑 시스템 (clamping system) 과 자동 위생 루틴 (automated sanitation routine) 은 뛰어난 연삭 결과를 제공하면서 부품을 안전하고 안전하게 보호합니다. 프로세스 시간을 더욱 최적화하기 위해, SABRE 3D는 부품과 도구가 올바르게 정렬되도록 도와주는 높은 정확도의 광학 도구 (optical tool unit) 를 사용합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D에는 도구와 부품 마모에 대한 몇 가지 기능이 있습니다. 고급 세라믹 코팅으로 그라인딩 휠이 내구성이 높고 마모로부터 보호됩니다. 조절 가능한 진공 시스템 (vacuum system) 은 공구 수명을 연장하는 반면, 내장 센서는 공구 변경 및 공기 베어링 (air-bearing) 조정을 감지하여 각 공구를 더 이상적인 속도로 실행할 수 있습니다. NOVELLUS SABRE 3D는 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 필수 장비입니다. 직관적인 컨트롤과 다차원 사용자 인터페이스를 통해 연삭, 랩핑, 연마, 동적 안전 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 내장된 진단 프로그램을 통해 오류를 신속하게 식별하고 해결할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH SABRE 3D는 LAMNOVELLUS CNC 제어 시스템을 최대한 활용하며, 고객 환경에 쉽게 통합하여 프로세스 최적화 및 제어를 제공합니다. SABER 3D는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 분야에서 가장 높은 성능을 나타냅니다. EMC 의 독보적인 기술은 모든 애플리케이션의 프로세스 매개변수를 신속하게 최적화하는 기능과 더불어 탁월한 정확성과 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다. 혁신적인 디자인과 최첨단 기능을 갖춘 LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D는 품질이나 안전성을 저해하지 않고 완벽한 표면 마무리를 달성하기에 이상적인 도구입니다.
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