판매용 중고 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L #9266482
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ID: 9266482
웨이퍼 크기: 8"
Double sided lapper / Polisher, 8"
With slurry tank with motor
For circulating slurry and pump for dispensing slurry
Power supply: 415 VAC, 3 Phase.
KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L은 최고 수준의 균일성 및 반복성을 가진 정밀 표면 생산을 위해 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 연마식 연삭, 랩핑, 연마 프로세스의 조합을 사용하여 원하는 결과를 얻습니다. KAO-YU KYL-9B-5L 장치는 진공 척 (vacuum chucks), 회전 가능한 그라인딩 헤드 (rotatable grinding head) 및 향상된 생산 능력을 위해 랩핑 헤드를 구성 할 수있는 모듈 식 디자인으로 구성됩니다. 이 기계는 고정밀 선형 (high precision linear) 과 회전 (rotary) 동작 기능으로 더욱 구별되며, 필요에 따라 안정적이고 정확한 위치 설정 및 웨이퍼 기판의 이동이 가능합니다. 또한 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L에는 인터 록 (interlock) 및 비상 정지 회로 어레이 (Emergency Stop Circuit) 와 같은 여러 안전 기능이 장착되어 있어 운영자의 안전을 보장하고 해당 건강 및 안전 규정을 준수합니다. 이 도구에는 연삭 및 연마 공정의 고급 제어를 위해 MCU (Computerized Motion Control Unit) 가 추가로 장착되어 있습니다. 이 MCU는 고급 모션 프로파일 탐색 및 편집 소프트웨어를 갖추고 있으며, 최종 공차를 위한 복잡한 모션 프로파일 (0.002 인치) 을 사용합니다. KAO-YU KYL-9B-5L은 랩핑 프로세스를 세밀하게 튜닝 할 수있는 매우 정밀한 디지털 압력 조절 자산을 사용합니다. 이를 통해 최적의 기판 성능을 보장하고 웨이퍼 기판에 대한 최소한의 응력으로 웨이퍼 (wafer) 표면에서 정지 된 스톤, 그루브 및 기타 이상이 일관되게 제거됩니다. KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L 모델은 광학 레이저 및 고해상도 이미징 카메라가 장착 된 통합 광학 장비를 사용하여 연마 전후에 기판 표면 프로파일을 쉽게 측정 및 검증합니다. 또한 "그라인딩 헤드 '를 끼울 때 자동으로" 피드' 율 을 제어 할 수 있다. 이렇게 하면 그라인딩 (grinding) 과정의 균일성이 보장되고 웨이퍼 (wafer) 표면에 존재하는 모든 이상이 제거됩니다. 전반적으로, KYL-9B-5L은 뛰어난 반복성과 신뢰성을 가진 정밀 표면을 제공 할 수있는 고급형 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 자동화된 공정 제어, 정밀 기계식 동작 제어 및 광학 측정의 조합으로 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L은 다양한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 어플리케이션에 이상적인 기계가되었습니다.
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