판매용 중고 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L #293638088

ID: 293638088
Double sided lapper / grinder Maximum diameter: 200 mm Minimum thickness: 0.15 mm Maximum thickness: 70 mm Speed of lower plate: 0-60 RPM (5) Clamping apparatus Driving motor: 6.75 kw Slurry motor: 0.4 kw Air pressure: 6kg/cm² Power supply: 220 V.
KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 다양한 어플리케이션의 구성 요소를 정확하게 구성하고 완성하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 연삭, 랩핑 및 연마 기술의 조합을 사용하여 실리콘 및 복합 반도체 웨이퍼, 플랫 컴포넌트 및 세라믹 기판을 처리합니다. KYL-9B-5L은 양면 처리를 위해 특별히 설계되었으며, 자동화된 현장 내 도구 모니터링 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L은 PLC 제어 주 드라이브 모터를 특징으로하여 웨이퍼의 각도 변위 및 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 이 장치에는 그라인딩 헤드가 웨이퍼의 전체 길이를 효과적으로, 정확하게 횡단할 수 있는 고정밀 (high-precision) 상하 왕복 선형 슬라이드 유닛이 장착되어 있습니다. KYL-9B-5L에는 또한 정확한 엔드 이펙터 포지셔닝 및 로드 처리를 위한 서보 기반 플랫폼이 포함되어 있어, 정밀한 전력/토크 제어가 가능합니다. 또한, 이 기계는 정확한 웨이퍼 연삭을 위해 회전하는 다이아몬드 연마 휠을 사용합니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 는 또한 전동 웨이퍼 회전 메커니즘을 특징으로하며, 웨이퍼의 회전 각도와 속도를 정확하게 제어합니다. KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L에는 최적의 연삭, 랩핑 및 연마 성능을 보장하는 맞춤형 주파수 인버터 및 PLC도 포함되어 있습니다. KYL-9B-5L (KYL-9B-5L) 의 랩핑 스테이션에는 랩핑 플레이트의 정확한 반복 가능한 동작을 보장하는 고급 서보 구동 테이블 툴이 장착되어 있습니다. 이 정확한 동작은 또한 랩핑 플레이트가 웨이퍼 서피스에 균일하게 접촉하도록 합니다. KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L의 광택 스테이션은 180 ° 의 모션 범위를 가진 정확한 선형 슬라이드 자산을 사용하여 최고의 연마 성능을 제공합니다. KYL-9B-5L 은 고객의 정확한 요구 사항에 따라 설계되어 최고의 다용성과 유연성을 제공합니다. KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L은 최대 160,000rpm의 스핀들 속도 (spindle speed) 뿐만 아니라, 특정 응용 프로그램의 요구 사항을 충족하도록 조정할 수있는 광범위한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 전체 프로세스 중/전반에 걸쳐 자동으로 현장 내 (in-situ) 모니터링 및 제어를 통해 일관된 품질 제어를 보장할 수 있습니다. 또한 KYL-9B-5L은 전자 빔 리소그래피, 에칭 및 화학 기계 평면 화 (CMP) 를 포함한 여러 후처리 옵션을 제공합니다. 이러한 처리 후 옵션과 함께 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L에는 다양한 데이터 획득 및 평가 소프트웨어가 포함되어 있어 기존 프로세스 제어 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 전반적으로, KYL-9B-5L 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델은 광범위한 응용 분야에서 최고의 품질의 완성 된 제품을 생산할 수있는 고급적이고 정확한 도구입니다. 고급 서보 구동 모션, 정밀한 선형 슬라이드 장비 및 사용자 정의 가능한 프로세스 매개 변수를 갖춘 KAO-YU PRECISION MACHINERY KYL-9B-5L은 연구, 산업 또는 도량형 목적에 관계없이 최적의 성능과 일관된 결과를 보장합니다.
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