판매용 중고 JEOL SM-09010 #293638040

JEOL SM-09010은 웨이퍼에 부드럽고 고품질 표면을 생산하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 시스템은 정밀 스핀들 (spindle) 설계를 사용하여 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 응용 모두에서 뛰어난 정확도와 표면 마무리를 제공합니다. 이 장치는 모터 구동 스핀들 머신 (motor-driven spindle machine) 을 사용하여 연삭 및 연마 프로세스에 대한 높은 수준의 제어 및 자동화를 제공합니다. 이 도구는 1 ½ m 이상의 두께의 재료 층을 분쇄할 수 있으며 평균 웨이퍼 표면 거칠기 (0.3 - 0.7äm RMS) 를 생성 할 수 있습니다. 스핀들 (spindle) 에는 와퍼의 정밀 위치를 설정하고 연삭, 랩핑, 연마 과정을 최적화하기 위해 제어 에셋이 장착되어 있습니다. 스핀들 (spindle) 은 또한 최적의 표면 마무리를 달성하기위한 압력 센서 모델을 특징으로합니다. 스핀들 (spindle) 은 브러쉬없는 모터로 구동되어 조용한 작동과 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 장비는 각 프로세스에 두 개의 다른 그라인딩 디스크를 사용합니다. 하나는 연삭과 랩핑을위한 것이고 다른 하나는 연마를위한 것입니다. 각 "디스크 '는 기본 기판 을 최소 로 손상 시키면서 일관성 있는, 높은 표면 마무리 를 만들어 내도록 설계 되었다. 디스크에는 연삭 및 연마 과정에서 균일 성 (Uniformity) 을 활성화하는 단계별 디자인이 있습니다. 이 시스템에는 연삭, 랩핑, 연마 프로세스 전후에 웨이퍼 이동을 자동화하는 진공 픽업 셔틀 (vacuum pick-up shuttle) 도 포함되어 있습니다. 진공 셔틀은 또한 원형, 직사각형 및 '슬롯 칩 폼 (slotted chip form)' 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 유형을 선택할 수 있습니다. 이 장치에는 열로 인한 결함의 형성을 막기 위해 액체 냉각기가 추가로 장착되어 있습니다. 전반적으로 JEOL SM 09010은 고품질 웨이퍼 생산을 위해 강력하고, 안정적이며, 정확한 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구를 제공합니다. 자동 (automated) 기능과 고정밀 (high precision) 스핀들 (spindle) 을 통해 기판에 대한 최소한의 손상으로 뛰어난 표면 마무리를 일관되게 만들 수 있습니다.