판매용 중고 JEOL EM 09100 IS #9380743

JEOL EM 09100 IS는 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 수행하도록 설계된 다기능 장비입니다. 이 시스템은 바닥 (floor-standing) 캐비닛에 내장되어 있지만 고객이 제공하는 푸메 후드 (fume hoods) 또는 진공/가스 캐비닛과 통합 할 수도 있습니다. 이 장치는 연삭, 랩핑 및 연마 단계의 세 가지 구성 요소로 구성됩니다. 기계 의 연삭 단계 는 연마 과정 에 대비 하기 위해 "웨이퍼 '재료 를 대충 가공 하는 데 사용 된다. 이를 위해 공구는 고정밀 스테퍼 모터 (stepper motor) 에 의해 구동되는 영구적 인 자기 척 (magnetic chuck) 테이블을 사용합니다. 그런 다음 그라인딩 휠은 테이블 표면 위에 배치되며, 별도의 고 토크 DC 모터에 의해 구동됩니다. 이 바퀴 는 "알루미늄 '산화물 연마제 로 만들어져 일관성 있는 절단 과 연한 속도 를 보장 한다. "랩핑 '단계 는 접지 된 후 에" 웨이퍼' 재료 의 표면 을 다듬는 데 사용 된다. 이 과정에서 슬러리 디스펜서 (slurry dispenser) 는 물질의 표면을 연마 용액 (polishing solution) 으로 젖히는 데 사용되며, 이는 표면을 매끄럽게하고 연마하는 윤활제 역할을합니다. 랩핑 테이블은 회전 플래튼, 고정 플래튼 및 2 개의 연마 디스크로 구성됩니다. "웨이퍼 '재료 는 회전" 플래튼' 과 정지 "플래튼 '사이 에 배치 되고, 슬러리' 용액 은 재료 표면 에 분배 된다. 이러 한 "랩핑 '과정 은" 웨이퍼' 재료 의 표면 에 남아 있는 "아스퍼리티 '를 감소 시켜 더 부드럽고 일관성 있게 만드는 데 도움 이 된다. 연마 단계는 에셋의 웨이퍼 머시닝 (wafer machining) 프로세스의 마지막 단계이며, 마이크로 스케일 마무리로 표면을 생성하는 데 사용됩니다. 이 과정에서 다이아몬드 코팅 패드 (diamond-coated pad) 는 웨이퍼 재료에 매우 정확한 마무리를 부여하는 데 사용됩니다. 슬러리 용액은 표면에 지속적으로 적용되어 일관된 연마가 보장됩니다. 결과 표면은 광학적으로 평평하며 긁힘 또는 기타 불완전성이 없습니다. 전반적으로 EM 09100 IS는 1 층 캐비닛에 3 단계의 웨이퍼 머시닝 (연삭, 랩핑 및 연마) 을 통합하는 고급 모델입니다. 이 장비는 또한 정확한 재료 머시닝 외에도 자동 슬러리 디스펜서 (slurry dispenser), 정확한 스테퍼 모터 제어 (stepper motor control) 등 다양한 추가 기능을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에서 반복 가능, 정밀 및 고품질 결과를 달성하는 데 이상적입니다.