판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM PLANAR 472 #9144591

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM PLANAR 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 반도체 등급 단면, 양면 및 초박형 웨이퍼의 수동 및 자동 처리를 위해 가장 정확하고 균일 한 표면 마무리를 생산하도록 설계된 산업용 장비 플랫폼입니다. 4 축 디지털 서보 드라이브 (Digital Servo Drive) 시스템을 갖추고 있어 매우 정확한 속도 제어를 가능하게하며 표면 마감이 매우 균일합니다. IPEC PLANAR 472에는 3 륜 표면 그라인더와 인터페이스 웨이퍼 교환 장치가 포함됩니다. 3 륜 연삭 도구 (three-wheeled grinding tool) 는 필요한 각도와 진동 속도를 수용하도록 조정할 수 있으며, 웨이퍼 표면에서 가장 높은 수준의 거칠기를 생성 할 수 있습니다. 그라인딩 도구 (grinding tool) 는 필요한 그릿 및 그라인딩 압력을 제공하면서 웨이퍼 표면에서 최소한의 변형을 보장하도록 특별히 설계되었습니다. "웨이퍼 '교환기 는 정밀 한 움직임 을 사용 하여" 그라인딩' "스테이션 '에서" 웨이퍼' 를 처리 하여 직접 교환 "테이블 '로 옮길 수 있다. WESTECH PLANAR 472에는 정밀하고 균일 한 표면 연마를위한 2 세트의 랩핑 및 연마 휠이 장착되어 있습니다. 두 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 이중 헤드 다이아몬드 랩핑 및 연마 도구를 사용합니다. 이 자산은 균일 한 표면 연마를위한 나노 미터 내에서 정확합니다. SPEEDFAM PLANAR 472는 또한 강력하고 일관된 랩핑 및 연마 속도 제어를 통해 최대 5000 RPM에 도달하는 한편, 소음 및 진동을 최소화합니다. 또한 PLANAR 472에는 사용자 효율성과 안전성을 높이는 몇 가지 기능이 있습니다. 디지털 자동 웨이퍼 인식 모델 (digital automated wafer recognition model) 은 웨이퍼를 교환하거나 연삭 및 연마 도구에 적재 할 때 정확성을 보장합니다. 폐쇄 된 환경에서 온도를 조절하는 데 도움이되는 프로그래밍 가능한 난방 장비가 장착되어 있습니다. IPEC/WESTECH/SPEEDFAM PLANAR 472에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 소프트웨어가 포함되어 있어 기존의 수동 프로세스보다 뛰어난 디지털 레시피를 손쉽게 생성, 저장 및 회수할 수 있습니다. IPEC PLANAR 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 반도체 등급 웨이퍼의 생산 과정을 간소화하도록 설계된 고급 장치입니다. 그것 은 강력 하고, 정확 하며, 정확 하며, 정확 하며, 균일성 과 표면 의 가장 높은 표준 으로 "웨이퍼 '를 만들 수 있다.