판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM CMP 5 #9063165
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IPEC/WESTECH/SPEEDFAM CMP 5는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 파퍼 그라인딩 (wafer grinding) 및 연마 공정의 모든 단계를 실행하여 정밀 표면을 생성 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스를 통해 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 매개변수를 쉽고 직관적으로 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 빠르고 정확한 연삭 및 연마를위한 강력한 모터 및 선형 액추에이터 (actuator) 를 갖추고 있습니다. IPEC CMP 5에는 조정 가능한 높이 올리기/내림 기능 및 고정 가능 플레이트를 포함하여 고정밀 분쇄/연마 플레이트가 있습니다. 강력한 모터를 사용하면 연마 중에 날카롭고 빠르게 움직여 생산성을 향상시킬 수 있습니다. "다이아몬드 '나 탄화규소 연마제 가 다양 한 연마/연마" 패드' 를 사용 할 수 있다. 사용자는 기본 (main) 및 보조 속도 (secondary speed), 압력 (pressure), 방향 (direction) 및 연마 압력 (polishing pressure) 을 포함하여 프로세스를 최적화하기 위해 매개변수 범위 중에서 선택할 수 있습니다. WESTECH CMP 5의 독특한 기능은 고급 컴퓨터 제어 연마 장치입니다. 이 기계는 연마 과정을 정밀 제어하여 연산자가 성능 저하 없이 동일한 서피스 마무리 프로파일 (profile of surface finishing) 을 반복 할 수 있습니다. 이 도구는 우수한 균일 성 아크로스 (acrossthe wafer surface) 를 유지할 수 있으며 우수한 표면 조건을 보장하기 위해 일관된 웨이퍼 평탄성을 제공 할 수 있습니다. CMP 5 는 견고하고 유지 보수가 용이하며, 탁월한 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 안전 (Advanced Safety) 기능은 사용자 보호를 보장하는 반면, 유지 관리 요구 사항이 낮아 서비스 및 수리 필요성이 최소화됩니다. 전반적으로 SPEEDFAM CMP 5는 강력하고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산입니다. 고정밀도 표면 마무리가 필요한 응용 프로그램에 사용됩니다. 고급 제어 모델 (Advanced Control Model) 은 연마 프로세스를 완벽하게 제어하여 반복 가능하고 일관된 결과를 제공합니다.
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