판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9292695

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472
ID: 9292695
웨이퍼 크기: 8"
CMP Polishers, 8" (2) Platens.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 반도체 웨이퍼 제조의 생산성 향상을 위해 효율적이고 효과적인 솔루션입니다. IPEC Avanti 472는 독점적 인 연삭, 랩핑 및 연마 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼를 효율적으로 처리하고 정확도를 향상시키는 다양한 연삭, 랩핑 및 연마 기술을 제공합니다. 이 시스템은 자동화와 안정성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 단일 작업으로 자동 로드 (automated loading) 및 언로드 (unloading) 장치를 제공합니다. WESTECH Avanti 472는 6 단계 공정으로 작동하는 4 스테이션 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 첫 번째 단계 에 "캐리어 웨이퍼 '가" 캐리어 디스크' 에 적재 되는데, 이 "디스크 '는 전방 역 에서 연삭" 스테이션' 으로 운반 된다. 그라인딩 스테이션 (Grinding Station) 은 정밀 다이아몬드 그라인딩 휠과 다이아몬드 마모 입자를 사용하여 균일 한 그라인딩 및 웨이퍼 랩핑을 사용하는 최첨단 마모 머시닝 기술을 사용합니다. 연삭 과정 에 따라, "웨이퍼 '는 두 번째 역 의 연마소 로 옮겨진다. 연마소는 마모, 기계 및 화학 공정을 갖춘 고급 연마 기술 (advanced polishing technology) 을 사용하여 웨이퍼 표면을 연마 및 평면 화합니다. "랩핑 '과 연마 과정 중 에 화학적 효소 가" 웨이퍼' 에 적용 되어 균일 하고 매끄러운 표면 을 만든다. SPEEDFAM Avanti 472는 검사 및 청소 스테이션을 위해 세 번째 스테이션을 사용합니다. 이 스테이션은 wafer 뒷면에서 검사 도구를 사용하여 잠재적 결함이 있는지 검사합니다. 그 다음 에 청소 "스테이션 '은 고급 화학 물질 과 진공 기술 을 이용 하여" 웨이퍼' 의 내부 표면 을 철저 히 청소 한다. 네 번째이자 마지막 스테이션은 전체 분석을 수행하고 웨이퍼 서피스 마무리 (wafer surface finish) 를 특징 짓는 웨이퍼 (wafer) 검사 및 품질 제어 스테이션입니다. Avanti 472는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 종합적인 6 단계 처리 프로토콜을 통해 고품질 결과를 제공합니다. 이 모델은 향상된 안정성, 자동화를 위해 설계되었으며 자동화된 로드 및 언로드 장비를 갖추고 있습니다. IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 정확성과 반복성이 향상되어 원하는 결과를 효과적으로 생성하며 반도체 웨이퍼 (wafer) 제조업체에 적합하며, 처리량 증가와 반도체 웨이퍼 생산에 고품질 결과가 필요합니다.
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