판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9259193

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 반도체 웨이퍼 제조 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 대부분의 작은 접시 (dishing) 와 측면 벽 (side wall) 평평함으로 매우 균일 한 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 이 장치는 처리 작업을 위해 다양한 기판 및 재료를 지원할 수도 있습니다. 이 기계는 정전기 척 (electrostatic chuck), 연마 테이블 (polishing table) 및 동력 회전 테이블 (motorized rotary table) 의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 정전기 척은 2 단계 난방 온도를 특징으로하며 최대 8 "직경 기판을 수용 할 수 있습니다. 연마 테이블은 코팅 된, 부식 내성 알루미늄으로 만들어졌으며, 최대 rpm과 마무리 품질 모두에 대해 조정 가능한 속도 제어를 갖습니다. 마지막으로, 전동 회전 테이블을 사용하여 최대 16 "웨이퍼를 처리 및 보존할 수 있습니다. 이 표에는 수작업 (manual operation) 보다 일관된 최적화 및 결과를 제공하는 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 에 대한 가변 속도도 있습니다. 또한, 이 도구에는 온도 컨트롤러, 진공 척 (vacuum chucks), 힘 게이지 (force geges) 및 타이밍 에셋 (timing asset) 과 같은 여러 액세서리가 장착 될 수도 있습니다. 온도 컨트롤러 (Temperature controller) 는 처리 과정에서 원하는 온도를 유지합니다. 진공 척은 연마 및 랩 작업 중에 웨이퍼를 고정시킬 수 있습니다. "포스 게이지 '는" 웨이퍼' 에 가해지는 하향 압력 을 감시 하는 데 사용 되어, 수술 전체 에 걸쳐 일관성 있는 연마 력 을 유지 한다. 마지막으로, 통합 타이밍 모델은 정확한 시작/중지 간격을 제공하여 정확한 연마 작업을 허용합니다. 전반적으로 IPEC Avanti 472는 반도체 웨이퍼 제작 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 포괄적이고 자동화된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정확하고, 반복적이고, 효율적인 연마 작업을 제공하며, 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업에 이상적인 선택입니다.