판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9188602

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472
ID: 9188602
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
CMP polisher, 8" 2003 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 특히 생산 응용프로그램의 구체적인 요구를 충족시키도록 설계되었으며, 매우 높은 품질의 에칭 (etched) 및 플레너라이즈드 웨이퍼 (planarized wafer) 를 생산할 수 있습니다. IPEC 아반티 472 (IPEC Avanti 472) 는 4 가지 랩핑 작업을 갖추고 있으며, 다양한 웨이퍼 처리 요구에 따라 엄청난 다재다능성을 제공합니다. 연마 슬러리는 필요한 연삭 및 연마 작용을 제공하기 위해 유닛을 통해 순환됩니다. 연마 입자는 30 미크론에서 5 미크론까지 다양하며, 완성 된 웨이퍼에서 매우 정확하고 균일 한 마무리를 이룹니다. WESTECH Avanti 472 시스템은 단면 및 양면 표면을 모두 분쇄할 수 있습니다. 웨이퍼뿐만 아니라, 이 장치는 기판, 다이 (dies) 와 같은 작은 성분을 연삭, 랩핑 및 연마하는 데 사용될 수도 있습니다. 이 다양성은 대량의 웨이퍼를 처리하는 데 최대 효율성을 보장합니다. 연마 과정은 두 단계로 이루어집니다. 첫째, 실리콘 산화물 서스펜션 (silicon oxide suspension) 은 웨이퍼에서보다 일관되고 균일 한 마무리를 제공하는 데 사용됩니다. 그런 다음 고급 텅스텐 카바이드 또는 다이아몬드 연마 서스펜션이 연마에 사용됩니다. 이 단계는 매우 화려하고 결함이 없는 웨이퍼 표면을 만듭니다. 연마 과정 외에도 Avanti 472는 청소, 에칭 및 필름 증착에도 사용될 수 있습니다. 이 기계는 온보드 화학 여과 및 화학 혼합 시스템 (chemical mixing system) 을 사용하여 인접한 부품 또는 웨이퍼의 우발적 오염을 방지하기 위해 설계되었습니다. SPEEDFAM Avanti 472는 생산 생산량을 극대화하기 위해 단독으로 사용하거나, 다른 생산 프로세스와 통합될 수 있습니다. 최대 300mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며, 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 전반적으로 IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 매우 다양하고 신뢰할 수있는 도구로서 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 웨이퍼 (wafer) 에 균일하고 결함이없는 마무리를 제공하여 정밀 생산 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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