판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9182620

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 생산 및 실험실 애플리케이션을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 지정된 평면도 및 해상도에 최대 450mm 웨이퍼를 연삭 할 수 있으며, 공격적인 입자를 0.5hm까지 제거 할 수 있습니다. 이 장치는 완전히 독립적 인 연삭 및 연마 구성 요소를 특징으로하며, 병렬 연삭 및 연마 작업을 허용합니다. 고해상도 선형 드라이브 (Linear Drive) 와 디지털 서보 컨트롤 (Servo Control) 을 통해 그라인딩의 정확성과 반복성이 뛰어납니다. 연삭 도구는 30 rpm에서 360 rpm까지의 속도로 구동되며, 최대 힘은 700 N/cm2이며 총 힘은 14kN입니다. IPEC Avanti 472는 그라인딩 컴포넌트를위한 4 축 선형 드라이브 머신과 랩핑/연마 컴포넌트를위한 별도의 선형 드라이브 도구를 갖추고 있습니다. 드라이브 에셋은 두 구성 요소 모두에 매우 부드럽고 안정적인 동작을 제공합니다. 연삭 성분은 1 ° m 의 프로그래밍 가능한 해상도로 x, y 및 z 방향으로 이동 할 수 있습니다. 랩핑/연마 성분은 0.1 밀리미터 (0.001) 의 해상도로 x 및 y 방향으로 이동 할 수있다. 랩핑/광택 구성 요소는 한 쌍의 유체 정역학적 베어링 어셈블리 (hydrostatic bearing assembly) 를 사용하여 플래텐을 정확하게 이동하여 처짐을 최소화하고 동시에 향상된 열 성능을 제공합니다. 플라텐은 최대 30kN 의 힘을 발휘할 수있는 강력한 서보 (servo) 모델로 구동됩니다. 플래텐은 단면, 양면, 하이브리드를 포함한 다양한 서스펜션 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. WESTECH Avanti 472는 터치스크린 인터페이스와 함께 최신 멀티미디어 PC (Multimedia PC) 를 사용하므로 편리한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 장비를 프로그래밍 및 제어할 수 있습니다. 또한 고급 데이터 수집 (Advanced Data Acquisition) 및 시각화 (Visualization) 툴을 통해 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 분석할 수 있습니다. 이 장치는 각각 최대 50 개의 매개 변수를 포함하여 최대 25 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 전반적으로 Avanti 472는 완벽한 결과를 낳도록 설계된 고급 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 도구에는 성능 최적화, 반복 가능한 정밀도 (precision) 가 가능한 여러 가지 중복 기능이 포함되어 있습니다. 이 자산은 고급 PC 기반 소프트웨어로 뒷받침되며, 쉽게 조절할 수 있는 설정과 실시간 프로세스 모니터링/분석이 가능합니다.