판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9109476

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 그것 은 기계 의 수직 부분 에 "컴퓨터 '가 조종 하는 회전식" 테이블' 로 이루어져 있으며, 거기 에 연마 도구 가 놓여 있다. 테이블은 양방향으로 회전하고, 1 ° 단위로 회전할 수 있습니다. 연마 암에는 4 개의 클램핑 암이 있으며, 각 암에는 웨이퍼 모양과 크기에 따라 최대 3 개의 연마 도구가 있습니다. 자가 중심 척 (chuck) 을 갖춘 정밀 분쇄 도구를 사용하면 얇은 웨이퍼를 빠르고 정확하게 분쇄하여 처리량을 높일 수 있습니다. 랩핑 암은 수동 및 자동 제어 모두 가능합니다. 즉, 연산자를 사용하지 않고 랩핑 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 연마 암은 스핀들 리스 랩핑 응용 프로그램을위한 왕복 플래튼 암을 갖춘 연마 로봇을 갖춘 ABM 퓨처 리스틱 시스템 (ABM Futuristic System) 과 통합되어 있습니다. 회전 테이블은 다이아몬드 휠을 사용하여 연마하기위한 6 상수 속도 모터에 연결됩니다. 또한 스핀들 헤드 (spindle head) 통합 머신 비전 (machine vision) 장치를 장착하여 웨이퍼 표면 품질을 측정 할 수 있습니다. IPEC Avanti 472는 또한 진동을 줄이기 위해 공압 댐퍼를 특징으로합니다. 더 큰 안전과 편안함을 위해 소음을 최소화하기 위해 진동 분리 (vibration-isolated) 기본 설계로 설계되었습니다. 이 기계에는 청소를 개선하고 폐기물 생산을 줄이기 위해 인라인 계면 활성제 (in-line surfactant) 전달이 장착되어 있습니다. 통합 랩핑 제어 도구를 사용하면 더 정확한 랩핑 프로세스를 사용할 수 있습니다. WESTECH Avanti 472에는 랩핑 및 연마 용도를위한 습식 재료를 건조시키는 2 단계 저항 난방 자산이 장착되어 있습니다. 다듬는 동안 모델을 통해 냉각수를 순환시켜 과열 (overheating) 의 위험을 줄이고 웨이퍼의 구조적 무결성 (structural integrity) 을 향상시키는 칠러 (chiller) 도 있습니다. 또한, 아반티 472 (Avanti 472) 는 비상 사태가 발생할 경우 전원이 꺼지는 비상 종결 (Emergency Closure) 을 갖춘 안전 케이스를 갖춘 완전 밀폐형 캐비닛을 갖추고 있습니다. 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있는 휴먼 머신 인터페이스 (human machine interface) 와 연마 (polishing) 및 연삭 (grinding) 프로세스와 관련된 모든 데이터를 캡처하는 데이터 획득 장비 (data acquisition equipment) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM Avanti 472는 매우 정확한 웨이퍼의 효율적인 생산을 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 모든 프로세스에서 안정적인 성능과 높은 정확도를 제공합니다.