판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #60082

ID: 60082
웨이퍼 크기: 4"-8"
Chemical Mechanical Polisher (CMP), 4"-8" Automatic loading / Unloading DI Water: Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min) Average flow: 6 GPM (22.7 l/min) Pressure: 25 - 30 PSI Chilled water: Peak flow: 5 GPM (18.9 l/min) Compressed air: Peak flow: 6 SCFM (170 SLM) Nitrogen: Peak flow: 10 SCFM (283 SLM) Power supply: 208-380 V, 460 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 472는 반도체 기판과 함께 사용하도록 특별히 설계되었으며, 우수한 연삭, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 472는 Avanti 시리즈의 최신 버전이며, 웨이퍼 그라인딩 및 연마 기술에서 가장 현대적인 기능을 제공합니다. IPEC Avanti 472는 트윈 스핀들 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템을 갖춘 조정 가능한 듀얼 암 개너리로 구성됩니다. 직경 40mm 플래터와 200mm 테이블이 장착 된 472는 웨이퍼 표면에서 미크론 정확도를 유지하면서 정밀 재료 제거 및 평면 화 (planarization) 를 제공합니다. 여러 개의 플래터를 동시에 사용하여 처리량을 늘릴 수 있으며, 특허를받은 Gantry의 행성 운동 (Planetary Motion) 은 수직 분리 기능을 향상시켜 우수한 품질의 마무리를 제공합니다. 472 는 모듈식 (modular) 설계를 통해 보다 빠른 통합 및 설치 작업을 수행하며, 사용자 인터페이스를 단순화하기 위한 터치스크린 (touch screen) 컨트롤이 장착되어 있습니다. 통합 프로세스 품질 제어는 고급 프로세스 모니터링, 자동 진단 서비스 등 소프트웨어를 사용하여 관리됩니다. 472에는 운영자 보호를 강화하기 위해 통합 안전 센서가 장착되어 있습니다. 472에는 회전하고 고정 된 스핀들이 있습니다. 고속 회전 스핀들은 최적의 속도 유연성을 제공하는 반면, 프로그래밍 제어 스핀들은 정확성과 반복 성을 향상시킵니다. "다이아몬드 '연마" 디스크' 는 유난히 평평 한 표면 을 이루는 데 사용 되고, 또 다른 연마 "시스템 '은 더 정밀도 로 얇은 물질 층 을 제거 하는 데 사용 된다. 자동 밀봉 시스템 (Automated Sealing System), 환경 챔버 (Environmental Chamber) 및 다양한 도구도 사용할 수 있으므로 거의 모든 재료를 처리 할 수 있습니다. 472는 광범위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 요구에 대한 다양성과 정밀도를 제공합니다. 모듈식 설계를 통해, 통합과 유지 보수가 그 어느 때보다 간편해지고, 자동화된 제어 기능을 통해, 매번 안정적이고, 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 472는 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 기술의 정점이며 업계에서 가장 높은 품질의 최종 제품 및 프로세스 신뢰성을 제공합니다.
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