판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293828724
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ID: 293828724
빈티지: 1996
Automatic wafer polisher
APP1000 Pad conditioning
Pressure (CDA): 100-80 psi (N2)
Vacuum: >-20 Hg
Compressed air peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Chilled water peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 2-5 GPM (7.57-18.9 l/min)
Power supply: 208-460 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase
Manual
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 고정밀 웨이퍼 제작에 사용하도록 설계된 전문 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 매우 평평하고 부드러운 서피스 (surface) 로 웨이퍼 (wafer) 를 생성할 수 있으며, 수동 개입이 필요 없이 다양한 표면 공차를 제공합니다. IPEC Avanti 472는 다양한 조정 가능한 속도와 조정 가능한 풀리 비율을 가진 정밀 그라인딩 챔버 (grinding chamber) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 그라인딩 압력을 쉽게 변화시켜 고품질 결과와 정확한 표면 마무리 (surface finish) 를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치는 여러 랩핑 디스크, 연마 헤드, 그라인딩 휠 (grinding wheel) 을 제공하여 사용자가 원하는 속성에 맞게 프로세스를 사용자 정의하고 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 압력을 조정할 수 있습니다. WESTECH Avanti 472의 고급 전자 장치는 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 결과를 보장합니다. 이 기계의 총 출력은 1.2kW, 가변 속도 범위는 0 ~ 1400rpm 인 이중 모터 드라이브가 있습니다. 이 속도 범위는 부드럽고 효율적인 연삭 (grinding), 랩핑 및 연마가 가능하며 섬세한 표면 피쳐에 대한 손상 가능성을 최소화하는 데 도움이됩니다. 이 도구에는 모델 제어 및 모니터링을위한 연동 자산 (Interlock Asset), 섬세한 웨이퍼 (Wafer) 를 보호하기 위한 냉각 공기 흐름 (Cooling Air Flow), 전력 서지 보호 회로 (Surge Protection Circuit) 등 다양한 고급 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능은 사용자 안전을 보장하며 우발적 손상이 발생하지 않도록 고가의 웨이퍼를 보호합니다. 편리하게 작동하고 모니터링할 수 있는 장비 설계입니다. 시스템 의 모든 부면 (압력, 온도 등) 을 원격으로 모니터링, 제어할 수 있습니다. 자동 윤활유 (automatic lubrication) 및 청소 (cleaning) 와 같은 다양한 추가 기능을 사용하면 장치의 수명을 더욱 연장하고 문제의 가능성을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 Avanti 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계는 일관되게 평평하고 부드러운 표면을 갖춘 고품질, 고정밀 웨이퍼를 생산하기위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 및 안전 (Safety) 기능은 항상 안전한 작동과 고품질 결과를 보장합니다.
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