판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293750600

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472는 반도체 웨이퍼를 처리 및 개선하는 데 사용할 수있는 4 스테이션 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 기계는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공정에서 뛰어난 성능, 정확성, 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 프로세스 요구 사항에 따라 쉽게 구성할 수 있고, 프로세스 간 신속한 전환을 제공하는 모듈식 (modular) 설계를 갖추고 있습니다. IPEC Avanti 472는 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. WESTECH Avanti 472에는 각 스테이션에서 웨이퍼 처리를 위해 2 개의 랩핑 테이블과 2 개의 연마 테이블이 장착되어 있습니다. 이 테이블은 저진동 (low-vibration) 작업으로 빠른 속도로 동작할 수 있도록 설계되어 전체 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 각 랩핑 및 연마 디스크마다 2 개의 전용 AC 모터가 장착되어 있어, 타이밍이 뛰어나고 속도 제어가 안정적입니다. 조정 가능한 속도 옵션은 로드 및 속도 조건의 조정을 최적화합니다. 아반티 472 (Avanti 472) 에는 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 세 가지 유형의 그라인딩 미디어가 포함되어 있습니다. 이러한 연삭 미디어에는 다이아몬드 그릿, 세라믹 그릿 및 실리콘 카바이드 그릿이 포함됩니다. 각 유형의 그릿 (grit) 은 다른 수준의 연마 동작을 제공하여 사용자가 특정 요구를 가장 잘 충족시킬 수 있도록 합니다. 또한, 그라인딩 미디어 (grinding media) 를 프로세스 간에 전환하여 완료된 제품의 값을 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 간단하고 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하기 위해 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러가 있습니다. 이 컨트롤러를 사용하면 특정한 요구에 따라 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 프로그래밍할 수 있고, 프로세스 설정에 대한 진단 및 피드백을 제공할 수 있습니다. 컨트롤러는 서로 다른 설정을 빠르고 쉽게 리콜하기 위해 최대 20 개의 개별 프로그램을 저장할 수 있습니다. 게다가, 기계 에는 "와퍼 '의 연삭/연마 각도 와 연삭 공정 의 전반적 인 깊이 를 추적 할 수 있는 연삭" 모니터' 가 장착 되어 있다. 마지막으로 SPEEDFAM Avanti 472 기계는 무인 작동을 위해 일련의 센서와 로더로 자동화되어 탁월한 생산성, 유연성, 정확성을 제공합니다.