판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 372M #9092868

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 372M
ID: 9092868
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
CMP Polisher, 8" Cassette to cassette (2) Platens Chiller Software version: 2.011 1995 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 372M은 반도체 업계에서 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 다재다능한 시스템은 실리콘, 사파이어, 쿼츠, 갈륨 비소와 같은 결정 성 물질을 포함한 다양한 물질을 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치에는 여러 가지 고급 기능과 기능이 있습니다. 닫힌 루프 프로세스 제어 머신 (closed loop process control machine) 을 사용하면 체계적인 오류와 랜덤 오류를 정확하게 제거하여 더 정확한 마무리를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 정확한 웨이퍼 위치를 보장하기 위해 6 미크론 즉각적인 위치 에셋이 장착되어 있습니다. IPEC Avanti 372M은 최대 8 ", 최대 1.2mm 두께의 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었습니다. 최대 5 개의 연마 패드를 사용하는 연마 헤드가 있으며, 최대 9um/hr의 처리량을 가진 높은 처리량, 4 패드 랩핑 헤드가 특징입니다. 모델은 0,5N에서 800N의 압력을 제어 할 수 있습니다. 또한 레이디얼 프로파일링, 중심 프로파일링, 둘레 프로파일링, 플랫 프로파일링 등의 다양한 프로파일링 옵션을 제공합니다. 장비의 독특한 기능은 마이크로 스텝 기술입니다. 이렇게 하면 연마제 "패드 '와" 웨이퍼' 사이 에 매우 정확 한 간격 이 생겨 균일 한 마무리 가 된다. 이 기능은 또한 고르게 가해진 압력으로 인해 웨이퍼가 손상되지 않도록 합니다. WESTECH Avanti 372M 은 안정적이고 효율적인 시스템이며, 설치와 운영이 용이합니다. 금속 다이아몬드 연마제를 사용하여 웨이퍼 제조 비용을 줄이도록 설계되었습니다. 이 장치에는 CCD 모니터와 이미지 검토를 위한 인쇄 미리보기도 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM Avanti 372M은 수정 물질을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수있는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 즉, 효율적이고 신뢰할 수 있는 툴로서, 작동하기 쉽고, 매우 정확하게 마무리할 수 있습니다. 0.5N ~ 800N 사이의 압력을 제어 할 수 있으며 정교한 프로파일 링 옵션이 장착되어 있습니다. 또한, 마이크로 스텝 기술로 인해 고르지 않은 압력에 의해 웨이퍼가 손상되지 않습니다.
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