판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Auriga #141543

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Auriga는 반도체, MEMS 및 광전자 산업의 일부로 정밀 연삭 및 연마 용도로 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 주요 목적은 다양한 응용 프로그램에서 컴포넌트의 서피스와 형상을 개선하는 것입니다 (영문). IPEC 아우리가 (IPEC Auriga) 는 이중 스핀 랩핑/연마 프로세스를 사용하여 처리량 및 작동 용이성을 높이기 위해 동시 연삭 및 연마를 위해 2 개의 별도의 연삭 헤드를 사용합니다. 각 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 웨이퍼 척 (wafer chuck) 과 지그 (jig) 가 있으며, 특정 직경과 피치에 대해 사전 설정이 가능하며 빠르고 정밀하게 연마 및 연마하도록 설계되었습니다. 자동 분배 시스템과 2 축, 4 단 스테이지 드라이브가 장치에 통합되었습니다. WESTECH Auriga (WESTECH Auriga) 는 선형 및 3D/회전 스캔을 모두 포함하는 자동화된 다축 동작 제어기를 갖추고 있으며, 연삭 및 연마 프로세스를 정확하게 제어하고, 고정밀도, 저비용 광학 및 표면 규칙성 부품을 생산할 수 있습니다. 특허를 획득한 3D 스캔 도구에는 고해상도 위치 인코더 (Position Encoder) 및 제어 소프트웨어가 포함되어 있어 반복 가능하고 정확하며 제어 가능한 결과를 제공합니다. 또한, Auriga 자산에는 비공개 루프 압력, 윤활제 및 유체 온도 제어 모델이 장착되어 있으며, 부품마다 일관성 있고, 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 결과를 제공합니다. 또한 장비는 연삭 및 연마 압력의 실시간 피드백, 잠재적 인 코일 또는 척 손상 모니터링. 운영자 및 장비 보호를 위해 종합적인 안전 시스템도 포함되어 있습니다. SPEEDFAM Auriga 유닛은 고정밀 연삭 및 연마 작업을 위해 설계되었으며, 도자기, 사파이어, 복합 재료, 고무, 플라스틱 등 다양한 재료에서 다른 방법보다 정확하고 일관성이 있음을 보여주었습니다. 반도체, MEMS, 광학 산업에서의 사용은 그 역량과 신뢰성에 대한 증거입니다.