판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9384488

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9384488
웨이퍼 크기: 6"
CMP Systems, 6".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다중 결정 실리콘 (multi-crystal silicon) 및 기타 재료의 개별 결정 축에서 납작하고, 랩핑하고, 연마 할 수 있도록 설계되었습니다. 얇은 필름 연마 (thin film polishing) 에서 평평하고 낮은 반사율 (reflectance surfaces) 까지 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 이 장치는 직경이 최대 12 "인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 낮은 표면 거친 수준을 달성 할 수있는 가변 속도 드라이브 머신 (variable speed drive machine) 을 갖습니다. IPEC 472는 가변 속도 메인 및 2 차 스핀들 휠을 사용하여 높은 수준의 정밀도를 달성합니다. 4 축 위치 (positioner) 는 스핀들과 관련하여 웨이퍼의 정확한 위치를 허용하여 완전한 서피스 처리 및 일관성을 제공합니다. 이 도구에는 강력하고 반복 가능한 데이터 분석 및 웨이퍼 (wafer) 도량형을위한 고급 소프트웨어 (advanced software) 가 장착되어 있어 달성 가능한 표면이 가능합니다. 이 자산은 또한 통합 배기 후드 (Hood Hood) 를 사용하여 적절한 먼지 수집 및 대기 질 관리를 보장합니다. 또한 압력 수준 (pressure level) 과 기타 관련 정보를 모니터링하여 웨이퍼에 대한 잠재적 손상을 예방할 수 있습니다. 또한 WESTECH 472는 수동 연삭 및 연마 공정에 비해 더 높은 수준의 균일 성을 달성 할 수 있습니다. 또한 비용 효율적 (cost-efficient) 으로 설계되었으며, 사용자에게 프로세스 제어를 강화하여 원하는 표면 품질 (surface quality) 을 달성하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 472는 모두 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 가변 속도 구동 장비를 통해 정확하게 연삭, 랩핑, 연마, 로우-미디어 카랏 웨이퍼 (low-medium karat wafer) 및 높은 수준의 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 또한, 통합 배기 후드, 압력 모니터링 시스템 및 고급 소프트웨어는 안전하고, 비용 효율적이며, 반복 가능한 웨이퍼 연삭 및 연마 프로세스를 보장합니다.
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