판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9384486

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 연마 프로세스를 사용하여 반도체 웨이퍼의 표면을 효율적이고 정확하게 처리하는 다기능 기계입니다. 생산 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었으며, 많은 주요 반도체 회사에서 사용합니다. IPEC 472 연삭 시스템은 로터리 웨이퍼 벨트 (rotary wafer belt) 와 움직이는 플래튼 (platen) 으로 구성되며 서보 모터로 구동됩니다. 회전 웨이퍼 벨트는 균일성과 정확도로 웨이퍼 서피스를 처리하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 anti-chuck 장치 그리퍼는 웨이퍼가 제자리에 안전하게 배치되도록 합니다. "플래튼 '은" 웨이퍼' 를 제자리 에 두고 "벨트 '를 따라 정확 하게 움직 이는 데 사용 된다. "플래튼 '은 또한 필요 한 힘 의 수준 을" 웨이퍼' 표면 에 가하는 데 사용 된다. "웨이퍼 '의 표면 은 연마용" 벨트' 나 "랩핑 '" 디스크' 로 연마 할 수 있다. WESTECH 472 장치는 단일 또는 다중 웨이퍼를 동시에 연삭, 랩, 연마 할 수 있으며 수동 또는 완전 자동화 제어를 지원합니다. 프로그래밍 가능한 모션 컨트롤 머신 (motion control machine) 을 사용하여 일관되고 반복 가능한 결과와 완전하게 자동화된 웨이퍼 로드 및 언로드를 보장합니다. 제어 도구에는 압력, 회전 속도, 웨이퍼 처리 매개변수의 반복 조정 가능한 대상 값 (target value) 을 설정할 수 있습니다. 472 자산은 안전하고 효율적인 운영을 보장하도록 설계되었으며, 인터 록 (Interlock) 모델, E-스톱 (E-stop) 및 비상 종결 (Emergency Shown) 과 같은 안전 기능이 장착되어 있습니다. 연동 장비는 인원과 웨이퍼가 없으면 우발적 인 작동을 방지합니다. 또한, 먼지 수집 시스템 (dust collection system) 을 사용하여 연삭 과정에서 발생하는 먼지와 이물질을 모두 캡처할 수 있으며, 안전하고 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. SPEEDFAM 472 웨이퍼 연삭 장치는 반도체 웨이퍼의 표면을 효율적으로 처리하는 효과적인 방법입니다. 이 기계는 운영 용도로 설계되었으며, 자동 로드/언로드 기능을 갖추고 있으며, 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 다기능 (Multi-function) 머신으로, 다양한 연마 프로세스를 지원하며, 효율적이고 안전한 운영을 위한 안전 기능이 내장되어 있습니다.