판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9297205

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 정밀 평판 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 개발되었습니다. 초평평 웨이퍼 (ultra-flat wafer) 표면을 고도로 균일하게 생성하는 가장 빠르고 정확한 방법을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 쉽게 구성하고 확장할 수 있는 모듈식 설계로 구성되어 있습니다. 광범위한 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 구성으로 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 최대 50,000 rpm의 속도로 작동 할 수있는 강력한 그라인딩 모터 (Grinding Motor) 가 특징이므로 연삭 시간이 빠릅니다. 이 기계에는 강력한 클로즈드 루프 (closed-loop) 드라이브 툴이 장착되어 있어 매우 정밀하고 반복 가능합니다. IPEC 472에는 강력한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖춘 자동화된 프로세스 컨트롤러 (Process Controller) 가 있어 연삭 및 연마 프로세스를 쉽게 설정하고 프로그래밍할 수 있습니다. 최대 999 개의 레시피를 저장할 수 있으며 최대 32 개의 연삭 및 연마 주기를 실행할 수 있습니다. 또한, 자산에는 특정 재료 및 기판의 랩핑 및 연마 용 통합 랩핑 구성이 포함됩니다. 이 모델에는 웨이퍼의 정확한 이동과 자체 포함 냉각수/먼지 수집 장비 (coolant/dust collection equipment) 가 장착 된 모터 구동 웨이퍼 척 (wafer chuck) 이 장착되어 있습니다. 먼지 수집 시스템 (dust collection system) 은 먼지 입자가 작업 환경에 들어가지 않도록 하며, 이는 완성된 제품의 깨끗함과 품질을 보장하는 데 도움이 됩니다. 최고 수준의 성능을 보장하기 위해 WESTECH 472 에는 정밀 광학 평면 (precision optical flat) 이 포함되어 있으며, 응용 프로그램의 정확성을 확인하고 연삭 및 연마 프로세스에 대한 최적의 작동 설정을 지정합니다. 이 장치에는 다이아몬드 그라인딩 휠, 연마 헤드, 그라인딩 플레이트 (grinding plate) 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 전반적으로 SPEEDFAM 472는 전례없는 수준의 정확성과 반복 성을 제공 할 수있는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 모듈 식 디자인은 쉽게 재구성을 가능하게하며, 강력한 모터는 빠른 연삭 및 연마 주기를 가능하게합니다. 또한 통합 먼지 수집 도구는 깨끗하고 고품질의 결과를 보장합니다.