판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9259783

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 고밀도, 고품질 웨이퍼를 생산하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 처리 중 먼지 및 공기 입자를 제어하기 위해 고급 공기 흐름 설계 (Advanced Airflow Design) 를 사용하며, 웨이퍼 무결성 (Wafer Integrity) 과 반복성 (Repeatability) 을 향상시키기 위해 몇 가지 기능이 향상되었습니다. 이 기계의 주요 특징은 고정밀 회전 스핀들 (high-precision rotational spindle) 인데, 이 스핀들 (spindle) 은 매우 작은 크기의 고품질 웨이퍼를 생산하도록 설계되었습니다. 이 스핀들은 매우 높은 정밀도를 제공하며, 제어 가능한 각도 가속은 최대 100 revs/second, 최대 스핀들 RPM은 2000입니다. 이 도구에는 고급 센서 (Advanced Sensor) 세트가 장착되어 있어 웨이퍼의 표면 마무리 (Surface Finish) 및 모양 (Shape of the Wafer) 의 정확한 판독값을 보장하며 반복성과 정확성을 보장합니다. 자산에는 2 개의 운송 단계가 있으며, 이는 웨이퍼를 로딩 스테이션에서 연삭/랩핑/연마 헤드로 이동하도록 설계되었습니다. 첫 번째 단계 는 진공 상태 를 이용 하여 "웨이퍼 '를 들어 올리고 움직 이고, 두 번째 단계 는 고급 공기 현가장치" 모델' 을 이용 하여 "웨이퍼 '를" 스테이션' 에서 "스테이션 '으로 옮긴다. 이 장비는 진동 및 공기 난기류를 제거하여 웨이퍼 손상 (wafer damage) 이 적은 부드러운 마무리를 초래합니다. 또한 "그라인딩 '/" 랩핑 '/연마 과정 중 각" 스테이션 '에서 일관성 있는 온도 를 유지 하는 데 사용 할 수 있는 선택적 냉각 장치 가 "시스템' 에 들어 있다. 이렇게 하면 열 효과 가 일어나지 않게 되며, "웨이퍼 '가 동일 한 온도 에서 일관성 있게 처리 되는 데 도움 이 된다. 마지막으로, 시스템은 실시간 데이터 분석, 프로세스 매개변수 제어, 프로세스 기록 관리를 제공하는 고급 인터페이스 (advanced interface) 에 의해 제어됩니다. 이를 통해 프로세스 정확도, 반복성, 추적성이 향상되며, 모두 고밀도 웨이퍼 처리에 필수적입니다. 결론적으로, IPEC 472는 고밀도, 고품질 웨이퍼를 생산하도록 특별히 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 이 제품은 고유한 디자인, 고급 기능, 자산 향상 기능을 통해 일관되게 정확하고, 반복 가능하며, 추적 가능한 (tracable) 프로세스를 보장하며, 이 모든 것이 고정밀 웨이퍼 생산에 필수적입니다.