판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9242698

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9242698
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
CMP Polisher, 8" 1998 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 반도체 웨이퍼의 고정밀 표면 마무리를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 300 마력 모터로 구동되는 IPEC 472는 유니버설 드라이브 플레이트 (universal drive plate) 를 특징으로하며, 로터리 그라인딩 및 랩핑 플레이트, 선형 랩핑 및 연마 플레이트 등 다양한 플래텐과 함께 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 4 개의 독립적 인 작업 조각이 있으며, 여러 웨이퍼를 동시에 연삭, 랩 및 연마 할 수 있습니다. 이 장치에는 왕복 연삭, 플런지 연삭, 크립 피드 연삭 등 여러 그라인딩 모드가 있습니다. 왕복 연삭 (Reciprocating grinding) 은 뛰어난 표면 마무리 정확도를 위해 고정 된 피드 속도로 표면 재료를 부드럽게 갈아 넣는 데 사용됩니다. 플런지 그라인딩 모드를 사용하면 지정된 깊이까지 그라인딩할 수 있습니다. 크립 피드 그라인딩 (creep feed grinding) 방법은 큰 부품의 대량 처리에 사용되며, 뛰어난 표면 마무리를 보장하면서 빠른 재고 제거를 제공합니다. 고압 냉각기 (coolant machine) 를 사용하여 재고 제거 속도를 높일 수도 있습니다. 웨스텍 472 (WESTECH 472) 의 랩핑 기능은 전자 변위 도구 (electronic displacement tool) 에 의해 향상되었으며, 이는 랩 플래텐의 압력을 지속적으로 모니터링하고 조정하여 최대 표면 마무리 정확도를 보장합니다. 이 자산은 자기 성분이 아닌 컴포넌트의 경우 정전기 척 (electrostatic chucks) 이나 자기 성분의 경우 진공 척 (vacuum chucks) 과 함께 사용할 수 있습니다. SPEEDFAM 472의 마지막 단계는 연마 프로세스로, 재순환 진동 미디어를 사용하여 매우 매끄러운 마무리를 달성합니다. 진동 매체는 특허를 받은 서보 모션 컨트롤러 (servo-motion controller) 에 의해 제어되며, 이는 여러 부품에서 최고의 정확성과 재생성을 보장합니다. 컨트롤러에는 광학 배출 모델 (optical emissions model) 이 있으며, 이 모델은 웨이퍼에 대한 자세한 검사를 허용합니다. 472는 반도체 웨이퍼에서 고정밀 표면을 연삭, 랩핑 및 연마 할 수있는 완벽한 솔루션입니다. 강력한 모터, 다용도 그라인딩 (Grinding) 및 랩핑 모드, 정확한 연마 기능을 통해 까다로운 어플리케이션을 위한 이상적인 선택입니다.
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