판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9230899

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 반도체 웨이퍼 생산을위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 제품은 연속 (continuous flow) 프로세스에서 고품질 웨이퍼를 안정적이고 정확하게 생산할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. IPEC 472 시스템은 완전 자동 설정 및 운영자 제어, 정확한 이동 및 높은 정확성을 위한 독점 CNC (Computer Numerical Control) 모션 제어 장치, 특허를받은 고해상도 도량형 머신 (Grinding and Polishing Operation) 을 자동화합니다. 이 도구는 최대한 효율적이도록 설계되었으며, 시간과 비용을 최적화합니다. 자산은 주 생산 타워로 구성되어 있으며, 웨이퍼가 적재, 지상, 랩 및 광택이 있습니다. 타워는 속도, 압력, 기울기 및 연삭 깊이, 가변 랩핑 및 연마 매개 변수를 조정할 수있는 6 축, 고 토크 CNC 기계에 의해 제어됩니다. 연삭 및 연마 단계는 다른 제품 요구 사항에 맞게 쉽게 수정할 수 있습니다. 각 그라인딩 헤드 (grinding head) 에서 가공하기 쉬운 웨이퍼 방향과 그라인딩 (grinding) 및 연마 서피스 사이의 적절한 접촉을 보장하기 위해 틸팅 (tilting) 및 회전 벨트 드라이브 (rotating belt drive) 를 위한 독립적 인 측면 이동 장치가 있습니다. 또한이 모델에는 완전하게 프로그래밍 가능하고 조정 가능한 회전 속도가 포함 된 완전 자동 다이아몬드 랩핑 (diamond lapping) 및 광택 스테이션 (polishing station) 이 있습니다. 이 장비에는 연삭 및 연마 과정 전반에 걸쳐 웨이퍼를 측정하기위한 독점적 인 고해상도 도량형 시스템 (High-Resolution Metrology System) 도 포함되어 있습니다. 이 측정은 연삭 및 연마 작업의 품질에 대한 실시간 피드백을 제공하기 위해 사용될 수 있으며, 자동 자가 튜닝 (self-tuning) 을 허용합니다. 이를 통해 고성능 웨이퍼를 생성하는 데 필요한 고품질 표준이 보장됩니다. 또한 WESTECH 472 장치에는 강력한 오프보드 칠러 (Off-board chiller) 및 펌핑 머신 (Pumping Machine) 이 장착되어 있어 소음과 진동을 줄여 청소실 환경에서 사용할 수 있습니다. 472는 반도체 웨이퍼 생산에 적합하며, 최고 수준의 정확성, 신뢰성 및 비용 효율성을 제공합니다. 고급 도량형 (metrology) 및 측정 기능과 결합된 프로그래밍 가능한 자동화를 통해 고품질, 고성능 웨이퍼 (wafer) 를 생산할 수 있는 완벽한 솔루션을 제공합니다.