판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9224973

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 최대 8 인치 (200mm) 웨이퍼와 효율적으로 유사하도록 설계되었습니다. 이 고성능 자동화된 시스템은 초정밀 연삭, 랩핑, 연마 기능을 위한 안정적이고 반복 가능한 솔루션입니다. IPEC 472는 높은 균일성과 높은 수직 기능을 제공합니다. 이 기계에는 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 적재 할 수있는 4 스테이션 회전 목마가 제공됩니다. 각 스테이션에는 독립적 인 전동 랩핑/연마 헤드와 연삭 및 절단을위한 2 개의 X/Y 블레이드가 포함됩니다. 이 기계는 III-V 반도체, SiC, 연금속, 사파이어, 스핀 온 글라스 및 석영과 같은 모든 유형의 재료를 처리 할 수 있습니다. 사용자는 프로세스 요구 사항에 따라 매개변수를 설정하여 정확하고 일관된 정밀도 연삭 (grinding) 및 연마 프로세스를 제공할 수 있습니다. 이 장치는 자동 레시피 및 프로세스 프로그램과 함께 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 통합되어 자동 정지 (Auto Stop), 자동 반복 (Auto Repeat) 및 자동 공급 긴급 종료 등의 기능을 제공합니다. 강력한 안전 기능과 고급 로봇 기술 (Robotic Technology) 은 운영자 관련 시간을 최소화하여 뛰어난 신뢰성과 향상된 반복성을 제공합니다. 또한 WESTECH 472 (WESTECH 472) 에는 사용 중 열 부하를 제거하면서 높은 분쇄속도와 해상도를 달성 할 수있는 고공명 구동기가 포함되어 있습니다. 고효율 진공 도구 (vacuum tool) 는 웨이퍼 및 랩핑/연마 솔루션의 효율적인 수집을 보장하는 반면, 통합 여과 자산은 공기 오염 물질이 없는 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. SPEEDFAM 472에는 최대 8 "웨이퍼의 빠른 로드 및 언로드를 위해 설계된 조정 가능한 웨이퍼 홀더 및 척 (chuck) 도 제공됩니다. 홀더는 크고 무거운 웨이퍼를 위해 설계되었으며, 기계적으로 고정되어 있습니다. 또한 사용자는 IPEC 자원 센터 소프트웨어 제품군을 통해 도구를 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이 제품군은 포괄적인 프로세스 모니터링, 통계 프로세스 제어 툴, 신속한 프로세스 최적화 및 데이터 관리를 제공합니다. 472 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 다듬기 (polishing) 모델은 경제적인 비용으로 최고 수준의 생산성을 제공하는 최적화된 솔루션입니다. 정확하고, 정확하며, 일관된 결과로, 반도체 및 전자 부품 산업에서 널리 사용됩니다.