판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9216748

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 대용량 생산을 위해 설계된 산업 등급 자동 웨이퍼 마무리 시스템입니다. 이 기계는 고급 Siemens Sinumerik 802D CNC 컨트롤과 2 축 동시 작동을 가진 60kW 그라인딩 스핀들 모터를 사용합니다. 이 고품질 산업 등급 장치는 300 미크론, 최대 직경 200mm (8 인치) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 3축 회전 동작을 갖춘 고급 정밀 그라인딩 헤드 (precision grinding head) 덕분에 연삭, 랩핑 및 연마 과정은 정확하고 효율적입니다. 이 헤드는 단일 점 다이아몬드 그라인딩으로, 완벽하게 평평하고 부드러운 표면을 만들 수 있습니다. 2 축 동시 연산은 중첩 (overlap) 을 제거하고 각 축에 대해 연삭 헤드의 rpm 조절을 제공하여 정밀 표면 생성을 보장합니다. 이 기계는 또한 낮은 분쇄력으로 효과적인 재료 제거를위한 압력 조절기 (pressure regulator) 가있는 연마 헤드를 특징으로합니다. 이 압력 조절기 (Pressure Regulator) 를 통해 낮은 접촉 압력이 최적의 재료 제거를 달성할 수 있으며, 내장 가속도계는 자동으로 압력을 웨이퍼 크기로 조정하여 공구 수명을 최대화합니다. 통합 LSI 오류 감지 도구 (Integrated LSI error detection tool) 는 모든 센서와 작동기를 모니터링하여 적절한 작동을 보장하고 다운타임을 최소화합니다. 수동 공급 및 자동 웨이퍼 처리를 위해 진공 및 압력 제어 컨베이어 자산이 포함되어 있습니다. 그라인딩 프로세스 (grinding process) 간의 가동 시간을 늘리기 위한 공구 체인저 및 공구 저장소도 포함됩니다. 기계 는 가공 된 "웨이퍼 '를 환경 오염 으로부터 보호 하도록 설계 된 밀봉 된 환경 으로 둘러싸여 있다. 여과 모델에는 HEPA 필터 (HEPA filter) 와 공기 가습기 (Air Hidifier) 가 포함되어 있어 장비 내부의 공기를 깨끗하게 유지하고 안정적인 습도 수준을 제공합니다. 전반적으로 IPEC 472 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 대량 생산을위한 산업 등급 고급 장치입니다. 고급 CNC 컨트롤, 머신 헤드 및 다양한 센서가 장착되어 있으며 압력 조절기, LSI 오류 감지기, 공구 저장, 공기 여과 기계, 동봉 된 청소 환경 (모두 대규모 웨이퍼 마무리 응용 프로그램에 이상적) 이 포함되어 있습니다.