판매용 중고 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9210304

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 높은 정확성, 높은 생산성 및 낮은 소유 비용을 위해 제작되었습니다. 자동 웨이퍼 체인저, CCD 표면 프로파일 측정 및 여러 스핀들 연삭/연마 헤드를 통합하여 주기 시간을 줄이고 단위 성능을 최대화합니다. IPEC 472는 3 개의 처리 스테이션과 기계 제어 장치를 포함하는 단일 주택으로 구성됩니다. 스테이션에는 연삭/연마 스테이션, 랩핑 스테이션, 추가 처리 스테이션 (옵션) 또는 검사 스테이션이 포함됩니다. 연삭/연마 스테이션은 최대 8 개의 처리 헤드를 수용 할 수 있으며 CCD 자동 표면 프로파일 링 도구를 사용하여 연삭/연마 프로세스를 모니터링하고 조정하여 최상의 성능을 제공합니다. "다이아몬드 '분배 자산 은 분쇄/연마" 스테이션' 과 통합 되어 그 과정 에 대한 운영자 의 개입 없이 빠르고 정확 한 "다이아몬드 '를 적용 한다. 랩핑 스테이션에는 어플리케이션 요구 사항에 따라 원하는 평탄도, 매끄러움, 표면 프로파일을 달성하기 위해 최대 3 개의 조정 가능한 랩핑 헤드 (lapping head) 가 장착되어 있습니다. 랩핑 스테이션에는 또한 다이아몬드 슬러리 (slurry) 입자를 빠르고 효율적으로 분리하기위한 입자 크기와 진동 분리기 (vibratory separator) 가 포함되어 있습니다. 추가 스테이션 (옵션) 또는 검사 스테이션에는 시각 검사 기능을위한 현미경과 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 가 장착되어 있어 프로세스 내 결과 및/또는 온라인 제어의 정확한 비 접촉 측정 및 피드백을 제공합니다. WESTECH 472 에는 모델 처리량 및 품질 결과를 극대화할 수 있는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 독점 프로세스 제어 아키텍처는 스핀들 속도, 압력, 타이밍 등의 정밀 프로세스 제어를 제공합니다. 망원경 웨이퍼 로더 (telescopic wafer loader) 를 사용하면 기계의 배달 장비로 직접 웨이퍼를 완전히 자동 로드 및 언로드할 수 있습니다. 유틸리티 캐비닛은 깨끗하고 건조한 압축 공기 및 냉각수 여과 시스템을 제공합니다. 또한, 진공 여과 장치 (vacuum filtration unit) 는 유해 먼지 오염 및 운영자 노출을 줄이기 위해 폐쇄 루프 프로세스를 유지하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 SPEEDFAM 472 (SPEEDFAM 472) 는 안정적이고 생산적인 기계로, 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 분야에서 가장 높은 정확도, 효율성, 생산성을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 복잡한 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 어플리케이션에 적합하며 높은 처리량, 낮은 소유 비용, 낮은 PPM 처리를 원하는 제조업체에 적합합니다.